真空工学の基礎と真空システム設計への応用およびそのポイント <オンラインセミナー>

~ 真空工学の基礎、真空計測と真空ポンプの仕組み、真空シールと取扱い方法、真空材料と表面処理、真空システムの設計と装置選定、リークテストと注意点 ~

・真空システムの設計を通して、真空システムの理解を深め、実務に活かすための講座

・真空システムで必要不可欠な「真空計」と「真空ポンプ」から「真空シール」や「真空材料」まで修得し、真空システムを実践的に設計しよう!

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講師の言葉

 真空技術は様々な分野で使用されています。しかし、日ごろから真空システムを利用していても、その仕組みについてあまりよくご存じではない方も多いのではないでしょうか?

 本講座は、簡単な真空システムの設計を通して、真空システムに関する理解を深めることを目標としています。

 まずは真空システムを理解するために必要な「真空工学の基礎」について勉強します。

 次に、ほぼ全ての真空システムで必要不可欠な「真空計」と「真空ポンプ」について、その種類や仕組みを紹介します。

 更に、「真空シール」や「材料」についての知識を得ることで、いよいよ真空システムの設計ができるようになっているはずです。

 講座の後半では、真空薄膜装置である「マグネトロンスパッタリング装置」を例として、皆で一緒に真空システムの設計を進めていきます。自分で真空システムを設計することによって、前半で勉強した真空に関する理解を深め、応用力を身につけることを目指します。

(簡単な真空システムを設計できるようになることを目指す)

セミナー詳細

開催日時
  • 2022年12月09日(金) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー電気・機械・メカトロ・設備品質・生産管理・ コスト・安全
受講対象者 ・真空システムを使用しているが、その仕組みについてあまり理解できていない技術者の方
・これから真空システムの設計、製作を行いたいと考えている技術者の方
予備知識 ・高校物理(力学と熱力学)と高校数学の知識が必要
修得知識 ・真空工学の基礎
・真空システムに関する基礎的な知識
プログラム

1.真空工学の基礎

(1).圧力と真空

(2).気体分子運動論入門

(3).希薄気体の流れ

(4).排気の方程式

 

2.真空計測と真空ポンプ

(1).真空計について

  a.真空計の種類

  b.真空計の仕組み

(2).真空ポンプについて

  a.真空ポンプの種類

  b.真空ポンプの仕組み

 

3.真空シールと取扱い方法

(1).真空シールの方法

(2).真空フランジ

 

4.真空材料と表面処理

(1).材料とその特性

(2).表面処理

(3).ベーキングについて

 

5.真空システムの設計

(1).マグネトロンスパッタリング装置の設計と製作

  a.マグネトロンスパッタリングについて

  b.真空容器の設計

  c.真空ポンプの選定

  d.真空計の選定

  e.その他、必要な真空機器の選定

  f.組立

(2).リークテストと注意点

・真空中のヘリウム分圧の変化から漏れを検知する測定方法

(3).装置の使用について

・真空機器を取り扱う際の注意点

 

6.質疑応答

キーワード  真空工学 希薄気体の流れ 真空計と真空ポンプ 真空シール取扱い、真空材料と表面処理 真空システム設計 
タグ 研究開発商品開発真空
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
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