スパッタリングの基礎とトラブル未然防止策および品質改善、向上策 <オンラインセミナー>

~ スパッタリング法の基礎技術、スパッタリング放電の工業的特徴、スパッタリング薄膜堆積におけるスパッタリング現象、薄膜の構造と物性、薄膜の内部応力、付着力の評価と向上、スパッタリング工業プロセスの制御技術 ~

・スパッタリングの基礎から学び、トラブル対策、品質向上へ活かすための講座

・スパッタリング法の特徴(問題点、構造と特性、プロセス条件変化のノウハウ)を修得し、高機能・高性能な製品設計に活かすための特別講座!

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講師の言葉

 スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。

一方、この特徴は高い非平衡状態において薄膜が堆積されることを意味し、この高い非平衡性が薄膜の構造と物性が装置内の機材配置や微細な見えないプロセス条件変化に影響されるという厄介な問題を引き起こす。

 また、同時に、この非平衡性が薄膜に大きな応力を残留させるという短所をも生じさせることになる。これらの問題に対応することがスパッタリング法薄膜堆積を工業的に有為な薄膜堆積方法とする。

 本講演では、スパッタリング法の工業的展開において生産あるいは技術開発の現場において遭遇する諸問題に、「スパッタリング法の技術基盤の理解にもとづき対応する力」を身につけていくことを目標とする。

 生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。

セミナー詳細

開催日時
  • 2022年10月14日(金) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー加工・接着接合・材料研究開発・商品開発・ ビジネススキル
受講対象者 ・薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務に携わっている技術者の方
予備知識 ・基礎的な物理と材料の知識
修得知識 ・スパッタリング法の基本とトラブル対応能力
プログラム

1.スパッタリング法概観

(1).スパッタリング現象

(2).スパッタリング法による薄膜堆積法概観

2.スパッタリング放電の工業的特徴

(1).放電を理解するための基礎

(2).直流マグネトロン放電の工業的特徴

(3).高周波放電の工業的特徴

3.スパッタリング薄膜堆積におけるスパッタリング現象

(1).スパッタリング率

(2).スパッタリングされた粒子の持つエネルギーと熱中性化

(3).スパッタリングされた粒子のターゲットへの再堆積

(4).堆積された薄膜のエネルギー粒子による再スパッタリング

4.スパッタリング法により作製された薄膜の構造と物性

(1).スパッタリング薄膜構造モデルと粒子の持つエネルギーの膜構造への影響

(2).金属薄膜における基板温度・放電圧力の膜構造への影響

(3).酸化物薄膜における基板温度・放電圧力の膜構造への影響

(4).膜厚が数100 nm以下のである薄膜に対する構造モデルと物性

5.パルススパッタリング法

(1).パルススパッタリング法の概要

(2).パルススパッタリング法の工業的特徴

(3).ハイパワーインパルスパルススパッタリング法の工業的特徴

6.スパッタリング薄膜の内部応力

(1).内部応力とは

(2).内部応力の発生メカニズム

(3).内部応力の評価方法

(4).薄膜の構造と内部応力

(5).スパタリング薄膜と内部応力の実例

(6).応力の抑制手法

7.スパッタリング薄膜における付着力の評価と向上

(1).付着のメカニズム

(2).付着力と全応力

(3).スパッタリング薄膜のはく離の機構

(4).薄膜の付着力の評価方法

(5).薄膜付着力の測定の実例

(6).基板硬さの付着力測定結果への影響

(7).付着力向上への指針

8.スパッタリング工業プロセスの安定化

(1).チャンバー内の状態が放電の安定性に与える影響

(2).チャンバー内の状態が薄膜物性の安定性に与える影響

(3).パッシブ制御から攻めの制御へ

9.まとめ

(1).講習のまとめ

(2).参考となる書籍紹介

キーワード スパッタリング 蒸着膜 パルス電源 マグネトロン カソード 遷移領域制御 プラズマエミッション制御  透明導電膜 バリア膜 光学膜 薄膜工程 成膜 PVD法 CVD 重回帰分析 ドライコーティング 薄膜形成 イオンプレーティング  分子線エピタキシー 原子層成 めっき 溶射積層造 スパッタリング放電 金属薄膜 酸化物薄膜 はく離 付着力向上 
タグ 金属薄膜表面改質表面処理・めっき
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
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