（第１部）産業洗浄技術の基礎と洗浄プロセスおよび安全管理のポイント

１．産業洗浄の概要

　　（１）．洗浄とは：洗浄技術

　　　　ａ．製造業における洗浄の重要性

　　（２）．産業洗浄と洗浄設計

　　　　ａ．洗浄方法の種類と特徴

　　　　ｂ．超音波洗浄、真空洗浄、ジェット洗浄、スプレー、シヤワー洗浄、脱気洗浄、他

　　（３）．洗浄度を左右する因子

　　　　ａ．洗浄効果が低下する要因

　　　　ｂ．機械作用、温度、時間、化学作用

 　　（４）．産業洗浄と洗浄設計

　　　　ａ．洗浄の目的を明確にする

　　　　ｂ．洗浄剤の最適な選定

　　　　ｃ．洗浄条件の最適化による効果的な洗浄技術

２．被洗浄物の素材

　　（１）．材料

　　（２）．製品や部品を構成する材料

　　　　ａ．材料を本来の清浄な状態に戻すことが安定した品質と高い再現性を確保できる

３．加工方法と汚れの種類と分類

　　（１）．加工方法と種類

　　（２）．被洗浄物に付着する汚れ

　　　　ａ．被洗浄物（対象物）に付着する汚れは、その性質と付着するメカニズムによって分類される

４．洗浄方法と選定法

　　（１）．洗浄方法の分類と選定法

　　　　ａ．洗浄対象による使用できる洗浄方法の選定

　　（２）．湿式洗浄

　　（３）．乾式洗浄

５．洗浄剤と洗浄液の管理とポイント

　　（１）．洗浄剤の種類と分類と管理

　　　　ａ．用途に応じた選定／洗浄剤の濃度管理/使用量の管理

　　（２）．非水系洗浄剤

　　（３）．水系洗浄剤

６．すすぎ工程の改善策とポイント

　　（１）．すすぎ工程

　　（２）．すすぎ工程に使用される水

　　（３）．すすぎ工程の改善策とそのポイント

７．乾燥工程の種類とポイント

　　（１）．乾燥工程の種類

　　　　ａ．熱の伝わり方（加熱方式）

　　　　ｂ．「水分の除去方法（乾燥方式）」

８．洗浄工程事例

　　（１）．非水系可燃性洗浄剤を使用する洗浄事例

　　（２）．非水系不燃性洗浄剤を使用する洗浄事例

　　（３）．準水系洗浄剤を使用する洗浄事例

　　（４）．水系洗浄剤を使用する洗浄事例

　　（５）．フッ素系真空洗浄機

９．清浄度評価法（洗浄力評価）

　　（１）．清浄度評価法の種類

　　　　ａ．直接判定法

　　　　ｂ．間接判定法

１０．安全管理と保護具リスクとリスクアセスメント

　　（１）．リスクとリスクアセスメント

　　　　ａ．洗浄工程の汚染リスクアセスメントの最適化

　　（２）．危険有害性に対する情報と対策

　　（３）．安全管理のポイント

　　　　ａ．洗浄現場での事故防止策

　　　　ｂ．適切な装備の選定と管理が不可欠

１１．産業洗浄の導入例の紹介

　　（１）．産業洗浄の導入例の紹介

　　（２）．トラブル解決及び歩留まり向上のポイント

１２．質疑応答

質疑応答

（第２部）ファインバブルによる環境負荷低減と精密洗浄の基礎と応用・例

１．ファインバブルの基礎

　　（１）．マイクロバブルの発生方法

　　（２）．マイクロバブルの自己加圧効果

　　（３）．ゼータ電位に基づく気泡の帯電性評価

　　（４）．マイクロバブルの圧壊

　　（５）．フリーラジカルの発生方法とメカニズム

　　（６）．ナノバブルの特徴

２．高濃度マイクロバブルのための加圧溶解方式について

　　（１）．マイクロバブルの粒径分布の測定方法

　　（２）．マイクロバブル粒径に与える流体物性変化

　　（３）．マイクロバブルの観察実験による挙動

３．環境負荷低減を可能とする半導体洗浄技術

　　（１）．半導体ウエハにおける洗浄技術

　　（２）．オゾンマイクロバブルの性能

　　（３）．オゾンマイクロバブルによる半導体レジスト膜の除去

４．広がるファインバブルの応用例

　　（１）．オゾラル（ナノバブル水）により殺菌併用洗浄効果

　　（２）．超音波音場におけるマイクロバブル洗浄効果

　　（３）．超精密加工におけるファインバブルの応用事例