ミストCVD法による酸化ガリウム作製技術とパワーデバイスへの応用 <オンラインセミナー>

~ 酸化ガリウムの結晶多形、ミストCVD法の原理と適用例、結晶多形の制御方法、結晶成長と高品質化、パワーデバイスへの応用 ~

・新しいパワー半導体材料として大きな注目を浴びているミストCVD法による酸化ガリウムの薄膜作製技術について修得する講座

・SiCやGaNよりも性能が優れ、低損失のパワーデバイスを作製できる酸化ガリウムパワーデバイスの実現技術を先取りし、製品開発へ応用しよう!

・目的のデバイス応用のための結晶多形の制御方法についても解説いたします

オンラインセミナーの詳細はこちら:

https://www.j-techno.co.jp/オンラインセミナーのご案内/

・WEB会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。

 

講師の言葉

 近年、新しいパワー半導体材料として大きな注目を浴びている酸化ガリウムの作製技術について詳細に説明します。特に酸化ガリウムの薄膜作製でよく用いされているミストCVD法の原理やミストCVD法での酸化ガリウムの作製例を中心に紹介します。
 また酸化ガリウムには複数の結晶多形があり、それぞれの作製条件が異なります。目的のデバイス応用に向けてはこれらの目的の結晶多形を作り分ける必要がありますが、その結晶多形を得るための指針などについても紹介します。 

本講座の申込み受付は終了いたしました

セミナー詳細

開催日時
  • 2022年07月20日(水) 13:00 ~ 17:00
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー電気・機械・メカトロ・設備
受講対象者 ・半導体メーカー、自動車部品メーカー、電機メーカー、化学メーカー、半導体装置メーカーなどパワー半導体や半導体製造装置に携わる方
予備知識 ・半導体に関する基礎知識があると理解しやすいです
修得知識 ・酸化ガリウムの基礎物性
・ミストCVD法の原理
・酸化ガリウムの作製方法
プログラム

1.酸化ガリウムの結晶多形
  (1).結晶多形の結晶構造
  (2).結晶多形による特徴
  (3).結晶多形による研究開発動向(論文・特許など)

2.ミストCVD法
  (1).ミストCVD法の歴史
  (2).ミストCVD法の原理
    a.ミストCVD法の装置
    b.ミストの反応挙動
    c.エピタキシャル成長を可能とする原理
  (3).ミストCVD法の適用例
    a.透明導電膜
    b.有機材料など

3.酸化ガリウムの作製技術
  (1).成長方法全般
  (2).結晶多形の制御方法

4.ミストCVD法による酸化ガリウムの作製技術
  (1).α型酸化ガリウムの結晶成長
    a.ミストCVD法でのα型酸化ガリウムの結晶成長
    b.α型酸化ガリウムの結晶成長における課題
    c.高品質化の検討例
    d.混晶化、不純物添加技術
  (2).β型酸化ガリウムの作製技術
    a.ミストCVD法でのβ型酸化ガリウムの結晶成長
    b.他手法でのβ型酸化ガリウムの結晶成長
    c.デバイスから見た結晶成長
    d.β型酸化ガリウムの結晶成長における課題
    e.混晶化、不純物添加技術
  (3).κ型とγ型酸化ガリウムの作製技術
    a.ミストCVD法でのκ型酸化ガリウムの結晶成長
    b.強誘電体特性と新規動作のHEMT
    c.κ型酸化ガリウムの結晶成長における課題
    d.新しい基板による高品質化
    e.κ型の混晶化技術
    f.ミストCVD法でのγ型酸化ガリウムの結晶成長

5.まとめと展望
  ・パワーデバイスへの応用に向けて

キーワード 結晶多形 酸化ガリウム ミストCVD法 エピタキシャル 強誘電体特性 HEMT 混晶化技術
タグ パワーデバイス電子部品LSI・半導体
受講料 一般 (1名):44,000円(税込)
同時複数申込の場合(1名):38,500円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
こちらのセミナーは現在募集を締め切っております。
次回開催のお知らせや、類似セミナーに関する情報を希望される方は、以下よりお問合せ下さい。
contact us contact us
各種お問い合わせは、お電話でも受け付けております。
03-5322-5888

営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日