半導体発光デバイス(LD、LED、VCSEL)の信頼性と寿命予測 ~個別相談付~ <オンラインセミナー>

~ 半導体発光デバイスの技術動向、基本特性と寿命試験、故障(劣化)解析技術・事例、劣化低減対策とポイント ~

・半導体発光デバイスの故障解析技術を修得し、信頼性の高い製品開発に活かすための講座!

・半導体材料の評価、発光デバイスの故障解析技術、劣化未然防止対策を半導体発光デバイスのエキスパートから修得し、高性能で信頼性の高い製品へ活かすための特別講座!

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講師の言葉

 半導体レーザ・発光ダイオードなどの半導体発光デバイスは、大中容量ファイバ通信システム用の光源のみならず、オーディオ/ディジタルシステムなどの民生機器用光源や光プリンタ用光源、最近では、医療用小型光源、各種センサー、さらには、白色LEDをベースにした各種照明、ディスプレイなど極めて多岐にわたる領域に用いられており、その材料・構造も多種多様となっています。そのため、高性能で信頼性の高い製品を開発するには、発光デバイスの信頼性向上が重要な鍵を握っているといっても過言ではありません。しかし、その故障(劣化)の原因を解析・究明するためには、経験に基づいた知識を持ち、かつそれをうまく応用できる技術者が不足しているため、より信頼性の高いデバイスを開発・供給できないのが実情です。そこで、今回は、こうした発光デバイスの高信頼化の鍵を握る劣化解析および劣化解析事例について、本講師の永年にわたる豊富なデータに基づいて、デバイスの各種信頼性試験と寿命予測、信頼性解析のフローチャートと要素技術、解析する際の留意点などについて触れ、講義の中核の事例では、発光デバイスの基本的な劣化解析事例や派生的な劣化の解析事例および劣化の抑制方法を示します。今回は、LD、赤外LED、GaN系青色・紫外LED、さらには最近爆発的に需要が伸びているVCSEL(面発光レーザ)の技術動向および信頼性研究の最新情報に焦点を当て、各種劣化モードの事例を示しながら、詳しく解説致します。

セミナー詳細

開催日時
  • 2021年12月23日(木) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー電気・機械・メカトロ・設備品質・生産管理・ コスト・安全
受講対象者 ・半導体発光デバイス、すなわち、各種LD、LED、およびVCSELの研究、開発、設計、製造、信頼性試験・解析に従事している方
・関連する光マイクロエレクトロニクス、光学関連材料、光実装の関連分野の方
予備知識 ・半導体発光デバイスの研究、開発、設計、製造、材料・プロセス技術、信頼性評価に関する一般的な知識があると理解しやすい
修得知識 ・半導体材料の評価、発光デバイスの故障解析技術に造詣の深い講師から直接学ぶことにより、発光デバイス(各種LD、LED、VCSEL)の劣化メカニズムを把握し、劣化要因低減の方策が得られ、製品の高信頼化を図って行く上でこれからの実績に生かすことができます
プログラム

1. 半導体発光デバイスの技術動向
  (1).Ⅲ-Ⅴ系およびGaN系LDの技術動向
  (2).赤外LEDの技術動向
  (3).GaN系LED(InGaN、AlGaN)の技術動向
  (4).VCSELの技術動向

2.半導体発光デバイスの基本特性と寿命試験
  (1).基本特性
  (2).寿命試験
    a.通電試験(スクリーニング、実装後のランニング試験)
    b.温度加速試験(寿命予測)
    c.大電流通電試験(動作限界の把握、定格電流の提示)
    d.ESD試験

3.故障(劣化)解析技術
  (1).外観検査技術
    a.光学顕微鏡
    b.走査型電子顕微鏡(SEM)
  (2).内部解析技術
    a.電気的評価(断面EBIC)
    b.光学的評価(PL, CL, EBIC)
    c.結晶学的評価(エッチング、X線トポグラフ、TEM)
    d.化学組成評価(SEM/EDX,TEM/EDX, オージェ分析)
  (3).故障解析のフローチャート
    a.LD、LEDの故障解析フローチャート
    b.VCSELの故障解析フローチャート

4.半導体発光デバイス用材料の問題点
  (1).結晶欠陥の発生と抑制方法: 界面欠陥、バルク欠陥
  (2).熱的安定性: 組成変調構造、秩序構造(自然超格子)

5.Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体発光デバイスの故障(劣化)解析事例
  (1).半導体発光デバイスの故障モード
  (2).急速劣化の解析事例
  (3).遅い劣化の解析事例
  (4).衝撃劣化の解析事例
  (5).頓死モードについて

6.GaN系LD、LEDの信頼性
  (1).材料の課題
  (2).信頼性と劣化メカニズム:InGaN系、AlGaN系

7.VCSELの信頼性
  (1).VCSELの弱点とは?: その開発上の材料の課題
  (2).VCSEL固有の劣化メカニズム
    a.これまで得られた知見の整理
    b.未解決な点
    c.今後の高性能化に伴う、新たな劣化モードの予想
  (3).VCSELチップの信頼性向上のポイント(最適VCSEL選定のポイント)
  (4).VCSELチップを搭載したモジュールの信頼性向上のポイント

8.劣化低減への方策:メーカの取り組み方
  ・劣化低減に向けた対策についてのアドバイス

9.質疑応答・個別相談

キーワード 半導体 LED 発光デバイス VCSEL 信頼性 劣化 急速劣化 遅い劣化 頓死 寿命試験 高温高湿試験 バーンイン ESD 外観検査 故障解析 解析フローチャート EL像 SEM TEM FIB 化合物半導体 結晶成長 MOCVD 薄膜 活性層 結晶欠陥 転位 歪
タグ 検査寿命予測信頼性試験・故障解析品質管理電子部品LED・有機EL・照明LSI・半導体
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
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営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日