１．汚れはさまざま　

　　（１）．発生源は。雰囲気・環境と加工工程

２．洗浄の４要素（温度、時間、化学、力学）

　　（1）. ４要素の関わり方

　　（2）. 基本は力学的効果

３． 次の工程に使える表面を整えることが洗浄の目的

　　（１）. 汚染物質や付着物を取り除いて、使える表面を作る

４． 半導体洗浄の先端情報が得られる国際学会・国内学会

　　（１）．学会の紹介と課題の種類

５． 半導体洗浄の基礎現象

　　（１）．薬液と流れの効果

　　　　ａ．薬液の働き（付着・脱離・引き剥がす）と乾燥

　　　　ｂ．汚れを動かす力学操作

　　（２）．流れ、熱、拡散、接触

　　　　ａ．表面に漂う水の層を剥がし、汚れを取って運び去る方法

　　　　ｂ．流れの感覚をつかむ動画の例

６． 洗浄機内の流れと反応

　　（１）．枚葉式洗浄機

　　　　ａ．水流の実例

　　　　　　・実機の観察動画とシミュレーションの例

　　　　ｂ．ノズルをスイングさせる工学的理由

　　（２）．バッチ式洗浄機

　　　　ａ．実機の水流観察動画とシミュレーションの例

　　　　ｂ．水流最適化事例

　　　　　　・流れは入口と出口で変わる

　　　　ｃ．洗い難い場所に流れを巻き込む方法

　　（３）．超音波の働き

　　　　ａ．実機における水と気泡の動き

　　　　　　・観察動画

７． 洗浄結果の評価方法

　　（１）．試料の例

　　（２）．洗浄効果を評価するための実験手順

　　（３）．評価方法

８． 狭い空間の洗浄

　　（１）．盲点と工夫

　　　　　a. 液体の極性と表面の親水性／疎水性の選択

　　　　　b. 表面積と必要薬液量

９． まとめ：困った時の視点と対策

　　（１）．洗えない時には境界層を壊そう！

　　（２）.汚れが残る時には流れを見直そう！

１０． まとめ：困らないように

　　　・新たな薬液を選ぶ時には、地球環境は壊さないものを選ぶ！