半導体洗浄技術の基礎と洗浄の最適化技術と課題解決策のポイント ~ デモ(動画)付 ~ <オンラインセミナー>

~ 半導体洗浄基礎から学ぶための目的と概要、洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学)、薬液と流れの効果、各洗浄装置機の特性と洗浄機内の流れと制御法、洗浄結果の評価方法、課題解決の留意点 ~

・半導体洗浄の基礎から洗浄の要素である水流と薬液の動きを理解し、半導体洗浄を最適化するための要点と視点を学ぶための講座!

・半導体の洗浄技術、洗浄装置の要点と視点を学び、最適な洗浄方法と課題解決のポイントを修得し、高品質で信頼性を確保した半導体製品に活かそう!

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講師の言葉

 半導体洗浄に活用される諸要素のうち、薬液と水の動きの基礎を解説し、最適化するための要点と視点を解説します。

 洗浄では、水と薬液が洗いたい場所に届くことが要点です。しかし、ウエハの最表面には水の層が滞留して邪魔をし、ウエハ全体にも水と薬液が効率的に運ばれて来るとは限りません。また、折角取れた汚れがウエハに戻って来ては困ります。

 このように、洗浄装置には様々な課題がありますが、それらを解決するための要点と視点があります。そこで、さまざまな薬液の働きと乾燥の要点に触れた後、単純な容器内の流れを動画で見て、予想とは違うことを意識します。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作による効果についても、動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。

セミナー詳細

開催日時
  • 2024年09月09日(月) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー化学・環境・異物対策品質・生産管理・ コスト・安全
受講対象者 ・洗浄とは何かを学びたい初学者
・洗浄に関わる要点を整理したい技術者
・洗浄技術を指導・管理する管理者
・洗浄装置内の流れを見てみたい方
・洗えない時の対策を考えたい時
・将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者
予備知識 ・特に予備知識は必要ありません
・身近な流れ(蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど)を意識して眺めていただくと、役に立ちます

修得知識 ・先端材料の洗浄方法を構成する要素
・半導体にとって「清浄」とは何か
・キレイにするための表面と流れの取扱い方
・微細パターン洗浄の盲点
・「洗いたい場所に薬液を届ける」ことの大切さ
プログラム

1.汚れはさまざま 

  (1).発生源は。雰囲気・環境と加工工程

 

2.洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学)

  (1). 4要素の関わり方

  (2). 基本は力学的効果

 

3. 次の工程に使える表面を整えることが洗浄の目的

  (1). 汚染物質や付着物を取り除いて、使える表面を作る

 

4. 半導体洗浄の先端情報が得られる国際学会・国内学会

  (1).学会の紹介と課題の種類

 

5. 半導体洗浄の基礎現象

  (1).薬液と流れの効果

    a.薬液の働き(付着・脱離・引き剥がす)と乾燥

    b.汚れを動かす力学操作

  (2).流れ、熱、拡散、接触

    a.表面に漂う水の層を剥がし、汚れを取って運び去る方法

    b.流れの感覚をつかむ動画の例

 

6. 洗浄機内の流れと反応

  (1).枚葉式洗浄機

    a.水流の実例

      ・実機の観察動画とシミュレーションの例

    b.ノズルをスイングさせる工学的理由

  (2).バッチ式洗浄機

    a.実機の水流観察動画とシミュレーションの例

    b.水流最適化事例

      ・流れは入口と出口で変わる

    c.洗い難い場所に流れを巻き込む方法

  (3).超音波の働き

    a.実機における水と気泡の動き

      ・観察動画

 

7. 洗浄結果の評価方法

  (1).試料の例

  (2).洗浄効果を評価するための実験手順

  (3).評価方法

 

8. 狭い空間の洗浄

  (1).盲点と工夫

     a. 液体の極性と表面の親水性/疎水性の選択

     b. 表面積と必要薬液量

 

9. まとめ:困った時の視点と対策

  (1).洗えない時には境界層を壊そう!

  (2).汚れが残る時には流れを見直そう!

 

10. まとめ:困らないように

   ・新たな薬液を選ぶ時には、地球環境は壊さないものを選ぶ!

 

キーワード 半導体洗浄 汚染物質 付着物 枚葉式洗浄機 ノズルスウィング バッチ式洗浄 槽内水循環 超音波洗浄 気泡 境界層 ウエハ 薬液 浄機械力
タグ 化学洗浄
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
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営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日