面発光レーザ（VCSEL）の劣化メカニズムと信頼性解析のポイントおよび劣化対策への応用

講師の言葉

　半導体レーザ・発光ダイオードなどの半導体発光デバイスは、大中容量ファイバ通信システム用の光源のみならず、オーディオ/ディジタルシステムなどの民生機器用光源や光プリンタ用光源、最近では、医療用小型光源、各種センサー、さらには、白色ＬＥＤをベースにした各種照明、ディスプレイなど極めて多岐にわたる領域に用いられており、その材料・構造も多種多様となっています。そのため、高性能で信頼性の高い製品を開発するには、発光デバイスの信頼性向上が重要な鍵を握っているといっても過言ではありません。しかし、その故障（劣化）の原因を解析・究明するためには、経験に基づいた知識を持ち、かつそれをうまく応用できる技術者が不足しているため、より信頼性の高いデバイスを開発・供給できないのが実情です。今回は、特に、ここ１０数年にわたり用途が爆発的に広がりつつあるVCSEL（面発光レーザ）に焦点を当てます。講義では、まず、VCSELの最近の開発動向および多岐にわたる用途について紹介します。次いで、発光デバイスの高信頼化の鍵を握る劣化解析技術および基本的な劣化メカニズムについて、本講師の長年にわたる豊富なデータに基づいて、分かりやすく講義します。さらに、VCSELを中心とした、デバイスの各種信頼性試験、信頼性解析のフローチャートと要素技術、解析する際の留意点などについて詳しく学んでいただきます。最後に、VCSELの弱点、VCSEL固有の劣化メカニズム、さらには、VCSELチップ信頼性向上、VCSEL搭載モジュールの信頼性向上のためのポイント（ノウハウ）、について事例を挙げながら詳しく講義します。