１．基礎の無理解とブラックボックス化がトラブルと事故を起こす！　　

　　（１）．真空・成膜作業が絡む大事故例に見る基礎の無理解

２．成膜と真空の密密な関係         　

　　（１）．成膜は目的、良い真空はその手段の１つ

　　（２）．何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？

　　（３）．そもそも良い真空とはどんなものか？

　　（４）．成膜室の真空が良ければそれで良いのか？

３．無駄なトラブルと事故を避けるため、１時間で学ぶ真空物理の基礎のキ！      　

　　（１）．気体分子運動論と気体の性質

　　（２）．気体の流れと真空排気

　　（３）．真空排気の理想と現実

４．これだけは抑えたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ！

　　（１）．成膜原料の供給（蒸発、スパッタリング、気体、プラズマ粒子など）

　　（２）．薄膜の育ち方としっかり良く育つ条件

　　（３）．ＰＶＤとＣＶＤ

　　（４）．こんなにある実際の成膜法と機能性薄膜への応用

　　（５）．こんなにある薄膜の評価法

５．真空利用の成膜システムにおけるトラブル事例と解決法

　　（１）．デタラメな機械加工や接合にダマされるな

　　（２）．不純物と維持費抑制に必須な装置内面の表面処理や表面改質

　　（３）．絶対避けたい擬似リーク

　　（４）．オイルフリー排気系の落とし穴

　　（５）．成膜法に依っては必須のベーキング

　　（６）．成膜原料は純度が命

　　（７）．吸って安全な成膜原料ガスは１つもない！

　　（８）．その真空部品は汚染源になっていない？　

　　　　・汚染ガスとダストの発生源を潰そう

　　（９）．陰で進行している成膜中の汚染ガス放出

　　（１０）．全圧計だけでは不十分！　

　　　　・残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り

　　（１１）．大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪

　　（１２）．スパッタリング収率を理解して不純物を避け、装置も長生き

　　（１３）．成膜真空容器に鎧を付けよう

　　（１４）．薄膜に汚染をもたらさない真空装置の正しい扱い方

　　（１５）．最近、話題のHiPIMS

６．まとめと質疑応答