~ 半導体洗浄の目的と概要、各洗浄装置機の特性と洗浄機内の流れと制御法、課題解決の留意点 ~
半導体洗浄の基本と手法および生じる様々な現象を理解し、最適洗浄に活かすための講座
・半導体の洗浄方法、洗浄装置を正しく理解し、最適な洗浄方法と生じる課題解決のポイントまでを修得し高品質な半導体製品つくりに活かそう!
・WEB会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
~ 半導体洗浄の目的と概要、各洗浄装置機の特性と洗浄機内の流れと制御法、課題解決の留意点 ~
半導体洗浄の基本と手法および生じる様々な現象を理解し、最適洗浄に活かすための講座
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【前提】半導体不足解消のための投資や設備増強の機会には、洗浄技術者が必要になります。
そこで、半導体洗浄に初めて取り組む方、初めて取り組む技術者を指導する方を前提にします。
【目的】半導体製造工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基礎となる現象を理解し、洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点が直感的にわかるようになることが目的です。そして、困った時の視点と対策まで簡潔に説明します。
【特徴】実際に生産現場で用いられている洗浄装置を対象とした研究において、これまでに得られた流れの可視化画像と数値計算結果を主な教材として用います。現象の基本法則の説明から始めますので、予備知識は不要です。併せて、困った時に境界層に着目する理由にも言及しますので、洗浄に限らずめっきなど液体を用いる半導体製造工程に役立ちますし、半導体以外の分野の洗浄技術者にも参考になります。
開催日時 |
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開催場所 | オンラインセミナー | |
カテゴリー | オンラインセミナー、電気・機械・メカトロ・設備、化学・環境・異物対策、品質・生産管理・ コスト・安全 | |
受講対象者 |
・半導体洗浄をこれから初めて担当する方(を指導する方) ・洗浄というものが何となく分からない方 ・対策・提案が的を得ているのか不安な方 ・洗浄技術に対する視点・指針を身に付けたい方 ・洗浄装置内の流れを見てみたい方 ・洗えない時の対策を考えたい時 |
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予備知識 |
・予備知識から紹介しますので、特に必要なことはありません。ただし、下記の知識があると、理解がさらに深まります ・流れの可視化写真を見た経験 ・基礎的な化学工学(熱・流れ・拡散) |
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修得知識 |
・洗浄装置内の水の流れ ・課題解決のために水流を設計する指針 ・先端材料の洗浄方法を組むための要素 ・目的に合わせた「清浄」の定義 ・汚染物質や付着物を半導体の表面から取り除くための流れの取扱い方法 ・生産プロセスに共通して潜在する化学工学現象(流れ・気泡などの動きと設計) ・困った時に真っ先に点検すること |
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プログラム |
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キーワード | 半導体洗浄 汚染物質 付着物 枚葉式洗浄機 ノズルスウィング バッチ式洗浄機 槽内水循環 超音波洗浄 気泡 境界層 | |
タグ | 生産管理、洗浄、未然防止、設備 | |
受講料 |
一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込) |
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会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日