半導体洗浄の基礎と最適な洗浄技術および課題解決とその対策 ~ 画像によるデモ付 ~  <オンラインセミナー>

~ 半導体洗浄の目的と概要、各洗浄装置機の特性と洗浄機内の流れと制御法、課題解決の留意点 ~

半導体洗浄の基本と手法および生じる様々な現象を理解し、最適洗浄に活かすための講座

・半導体の洗浄方法、洗浄装置を正しく理解し、最適な洗浄方法と生じる課題解決のポイントまでを修得し高品質な半導体製品つくりに活かそう!

 

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・WEB会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。

 

講師の言葉

【前提】半導体不足解消のための投資や設備増強の機会には、洗浄技術者が必要になります。

 そこで、半導体洗浄に初めて取り組む方、初めて取り組む技術者を指導する方を前提にします。

 【目的】半導体製造工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基礎となる現象を理解し、洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点が直感的にわかるようになることが目的です。そして、困った時の視点と対策まで簡潔に説明します。

 【特徴】実際に生産現場で用いられている洗浄装置を対象とした研究において、これまでに得られた流れの可視化画像と数値計算結果を主な教材として用います。現象の基本法則の説明から始めますので、予備知識は不要です。併せて、困った時に境界層に着目する理由にも言及しますので、洗浄に限らずめっきなど液体を用いる半導体製造工程に役立ちますし、半導体以外の分野の洗浄技術者にも参考になります。

セミナー詳細

開催日時
  • 2022年06月30日(木) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー電気・機械・メカトロ・設備化学・環境・異物対策品質・生産管理・ コスト・安全
受講対象者 ・半導体洗浄をこれから初めて担当する方(を指導する方)
・洗浄というものが何となく分からない方
・対策・提案が的を得ているのか不安な方
・洗浄技術に対する視点・指針を身に付けたい方
・洗浄装置内の流れを見てみたい方
・洗えない時の対策を考えたい時
予備知識 ・予備知識から紹介しますので、特に必要なことはありません。ただし、下記の知識があると、理解がさらに深まります
・流れの可視化写真を見た経験
・基礎的な化学工学(熱・流れ・拡散)

修得知識 ・洗浄装置内の水の流れ
・課題解決のために水流を設計する指針
・先端材料の洗浄方法を組むための要素
・目的に合わせた「清浄」の定義
・汚染物質や付着物を半導体の表面から取り除くための流れの取扱い方法
・生産プロセスに共通して潜在する化学工学現象(流れ・気泡などの動きと設計)
・困った時に真っ先に点検すること
プログラム

1.半導体洗浄の概要

  (1).汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?

  (2).洗浄の4要素

    a.温度

    b.時間

    c.化学

    d.力学

  (3).半導体の洗浄の目的

    ・汚染物質や付着物を半導体の表面から取り除くこと

  (4).先端技術情報(半導体洗浄に関わる国際学会・国内学会)

 

2.半導体洗浄の基礎

  (1).表面の扱い方

    ・付着、脱離、引き剥がす、乾かす

  (2).流れ、熱、拡散の法則

  (3).装置内の流れ

    a.完全混合

    b.押出流れ

    c.境界層

  (4).身近な装置の場合(可視化実験例)

    ・理想的構成なのに混ざりにくい理由

 

3.洗浄機内の流れと反応および制御法(流れの可視化と数値計算の事例)

  (1).枚葉式洗浄機

    a.一枚ずつ洗う装置

    b.自転の速さと水の動き

・広がる速さ、水膜厚さ

    c.ノズルスウィングで起こること

    d.数値解析で化学反応速度は正確にわかる

  (2).バッチ式洗浄機

    a.まとめて洗う装置

    b.ノズルの水噴出角度補正方法

    c.オーバーフロー排出でも槽内水循環を抑える方法

    d.ウエハ挿入・取出時に表面汚れが動く様子の観察例

  (3).超音波洗浄

    a.表面をゆすって洗う手段

    b.超音波による水流の加速

    c.気泡の直径による動き方の違い

    d.柱の影に気泡は届かない

 

4.まとめ&課題解決の要点

  ・洗えない時には境界層を壊せ

キーワード  半導体洗浄 汚染物質 付着物 枚葉式洗浄機 ノズルスウィング バッチ式洗浄機 槽内水循環 超音波洗浄 気泡 境界層 
タグ 生産管理洗浄未然防止設備
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。
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営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日