高周波弾性波デバイス(SAW・BAW)の基礎と高性能化および応用技術 <オンラインセミナー>

~ 弾性体・圧電体バルク波・SAWの基礎、板波とBAWやSAWとの相違点、共振子とラダーフィルタの特性と構成方法、SAWデバイス、板波デバイス、単結晶を用いたBAWデバイス、実用化事例 ~

・高周波弾性波デバイスの基礎から学び、小形化・軽量化、高信頼性を確保した製品開発に活かすための修得講座

・SAW・BAWデバイスの開発を手掛けてきたエキスパートである講師からSAW・BAW・板波の基礎から実用化成功例の秘訣、近年注目されているデバイス、今後の動向を詳解する特別セミナー

 

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講師の言葉

 圧電薄膜バルク波共振子(BAW or FBAR)や弾性表面波(SAW)は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数(VIF)用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。

   一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWに比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。

 今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタや第5世代用あるいは次の世代用高周波フィルタが要求されるなど、ますますBAWやSAWフィルタへの期待が高くなっている。

  BAWや良質なZnO膜の開発に加え、SAWの研究の黎明期から現在に至るまで、SAWの開発・実用化・製造に取り組んできている。これらの経験を活かし、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、BAWやSAWデバイスへの応用例、近年注目されているBAWやSAWデバイス、今後の動向に加え、実用化成功例の秘訣、開発テーマの選び方などについて講演する。

セミナー詳細

開催日時
  • 2022年02月10日(木) 10:30 ~ 17:30
開催場所 オンラインセミナー
カテゴリー オンラインセミナー電気・機械・メカトロ・設備研究開発・商品開発・ ビジネススキル
受講対象者 ・SAW・BAW・板波研究・開発・実用化・製造担当者
・SAW・BAWデバイス関係セールスエンジニアの方
・新しい弾性波デバイス研究・開発・企画担当者

予備知識 ・高校の数学程度
修得知識 ・SAW・BAW・板波など弾性体の基礎
・一般的なFBAW・SAW・板波の知識
・開発テーマの考え方の例
・実用化成功例 
プログラム

1.弾性体の基礎

  (1).弾性体の結晶構造

  (2).歪と応力の関係

  (3).弾性定数

  (4).運動方程式

  (5).弾性体の縦波音速、横波音速は何に依存している、どのように求める

 

2.圧電体とは

  (1).圧電現象

  (2).圧電方程式(圧電定数)

  (3).結晶構造のおける圧電定数の違い

  (4).電気機械結合係数

 

3.バルク波(BAW)の基礎

  (1).バルク波(BAW)とは

  (2).厚みすべり振動とは

  (3).厚み縦振動とは

  (4).BAW(FBAR)用材料

  (5).成膜方法

  (6).BAWの厚み振動共振子の周波数は何で決まる

  (7).厚み振動共振子の帯域は何で決まる

  (8).エネルギー閉じ込め振動とは

 

4.SAWの基礎

  (1).SAWとは

  (2).SAWとBAWの違い

  (3).SAWの励振

  (4).SAWの種類

  (5).レイリー波

  (6).漏洩弾性波

  (7).縦波型漏洩弾性波

  (8).セザワ波

  (9).BGS波

  (10).ラブ波

  (11).層状構造弾性波

  (12).境界波

 

5.板波

  (1).板波とBAWやSAWとの違いは

  (2).ラム波と横波型(SH型)板波 

  (3).LiNbO3やLiTaO3薄膜を用いたデバイスの例

 

6.共振子とラダーフィルタ

  (1).共振子

  (2).ネットワークアナライザによる共振子特性の測定

  (3).スミスチャート、動アドミタンス特性

  (4). 共振周波数、反共振周波数とは

  (5).電気機械結合係数

  (6).Qとは

  (7).等価回路

  (8).ラダーフィルタの構成方法

 

7.BAWデバイス

  (1).2重モードフィルタ

  (2).ラダーフィルタ

  (3).キャビティ構造とSMRの違いは

  (4).BAW材料

 

8.SAWデバイス

  (1).SAW共振子

  (2).トランスバーサル型フィルタ

  (3).縦波型共振子フイルタ

  (4).横波型共振子フィルタ

  (5).ラダーフィルタ

 

9.板波デバイス

  (1).ラム波

  (2).SHモード板波

 

10.近年注目されているSAW・板波デバイス

  (1).近年要求される特性

  (2).異種材料基板を組み合わせたSAWデバイス

    a.異種基板と組み合わせた温度特性の良好なSAWデバイス

    b.異種基板を組み合わせた高QなSAWデバイス

  (3).広帯域弾性波デバイス

  (4).空洞型板波

  (5).音響多層膜構造SAWデバイス

  (6).高周波弾性波デバイス

 

11.単結晶を用いたBAWデバイス

  (1).空洞型BAWデバイス

    a.LN薄板BAW

    b.LT薄板BAW

  (2).音響多層膜構造BAWデバイス

 

12.実用化例

  (1).TV用SAWフィルタ

  (2).BGS波デバイス

  (3).水晶SH波デバイス

  (4).良好な温度特性を持つ平坦化されたSiO2膜/ 高密度電極/ 圧電基板SAWデバイス

  (5).境界波

 

13.むすび

キーワード SAW BAW 圧電薄膜バルク波 共振子 弾性表面波 板波 圧電体 共振子ラダーフィルタ 板波デバイス ラム波 フィルタ SHモード板波 高周波弾性波デバイス
タグ 精密機器・情報機器プリント基板回路設計基板・LSI設計実装電子機器電子部品LSI・半導体
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
オンラインセミナー
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