低温プラズマの基礎と材料プロセスへの応用・例 　＜オンラインセミナー＞

講師の言葉

　低温プラズマは、薄膜形成・エッチング・表面処理・液体処理などの様々な用途展開が可能です。こうしたプロセス技術の多くは、減圧にしたリアクターの中で行われるものでしたが、近年は真空容器が不要の大気圧でも低温プラズマが容易に生成できるようになったため、加熱や減圧によって沸騰してしまう液体、更には加熱や減圧によって死んでしまう生体までもが処理の対象となっています。

　本講義では、まず、放電によるプラズマ生成の基礎や低温プラズマがなぜ低温なのかという基本的な点について述べた後に、その理解に基づいて各種プラズマ生成方式の特徴を説明します。

　次に、そうしたプラズマ生成方式の特徴をうまく活かした薄膜形成、エッチング、表面処理、液体処理への応用例を説明し、低温プラズマがどのような分野で利用できるのかについて知って頂こうと思います。

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