3D(三次元)実装(2.5D/2.1D実装)の基礎と 最新技術開発および量産実用化のポイント

〜3D(三次元実装)および2.5D/2.1D実装インターポーザとコアレス多層配線板技術の最新技術〜

「小型化」、「低消費電力化」、「高速化」等への更なる要求に応える高密度実装技と実用のポイントをを解説する講座

3D(三次元)実装技術の基礎を解説するとともに、量産実用化が期待される2.5D/2.1D実装の最新技術を学ぶ!

講師の言葉

 将来の半導体パッケージング技術として期待されているTSVによる3D実装技術は、依然として量産実用化に至っていません。その原因は、コストが高くつく、電気信号伝送特性が良くないなどがあるためです。
 このため、パッシブインタ−ポ−ザによる2.5D実装技術の量産実用化が期待されています。さらに、TSVかTGVへとSiの代わりにガラス基板を用い、低コスト化と電気信号伝送特性を改善する2.5D実装技術が開発されつつある他、更なる低コスト化の取り組みとしてSiやガラスなどのコア基板を用いない有機コアレス高密度・極薄・高多層配線板による2.1D実装も量産実用化が期待されています。
 本セミナーでは、まず各種3D(三次元)実装技術とその基礎に関して述べ、半導体パッケージの高集積化や極薄化、低コスト化の鍵を握る2.5D/2.1D実装インターポーザとコアレス多層配線板技術の最新開発状況とその動向について述べます。

セミナー詳細

開催日時
  • 2015年05月12日(火) 10:30 ~ 17:30
開催場所
カテゴリー 電気・機械・メカトロ・設備
受講対象者 ・電子機器、電子部品の研究開発、設計開発、生産技術、製造技術、品質保証、品質管理などの方で、実装に関わる担当者、マネージャの方 ・電子材料の研究開発に関わる方 ・三次元実装(2.5D/2.1Dも含む)に関心のある方
予備知識 ・実装技術の基本的な用語の知識
修得知識 ・現在の3D(三次元)実装技術の基礎と2.5D/2.1D実装を含む高密度実装技術の開発状況と最新動向
プログラム

1. 3D(三次元)実装技術の基礎と各種3D実装技術例
  (1). 3D(三次元)実装技術の基礎と実装効率
  (2). 各種3D(三次元)実装技術
     a.COC(Chip on Chip)による3D実装技術
     b.POP(Package on Package)による3D実装技術
     c.MOM(MCM on MCM)による3D実装技術
     d.WOW(Wafer on Wafer)による3D実装技術
     e.EPD/EAD(Embedded Passive and Active Devices)による埋め込み3D実装技術

2. 2.5D/2.1D実装対応インタ−ポ−ザ技術へのアプロ−チ(開発の背景)

3. 2.5D実装に最適なPassive Interposer技術の最新開発状況
  (1). TSV付きPassive Si-Interposer with RDL & IPDプロセスとその特性
     a. TSV形成プロセスとその特性
     b. RDL形成プロセスとその電気特性
     c. IPD(R、C、L:Integrated Passive Device)形成プロセスとその電気特性
  (2). TSV付きPassive Si-Interposerの電気信号伝搬特性
     a. RDL(Cu/BCB再配線層)の電気信号伝搬特性
     b. BCB-viaとTSVの電気信号伝搬特性 
     c. TSVの電気信号伝搬特性とその改善 
     d. Cu/BCB(RDL) on Passive Si-Interposer with TSV and RDLの電気信号伝搬特性
  (3). Xilinxでの2.5D Si-Interposer(SSI技術)の量産事例
  (4). 更なる低コスト化を達成するガラスインタ−ポ−ザの開発
     a. ガラスインタ−ポ−ザ開発の背景(更なる低コスト化と電気信号伝搬特性改善)
     b. ガラスインタ−ポ−ザ形成プロセス
     c. ガラスインタ−ポ−ザの電気信号伝送特性  

4. 2.1D実装対応配線板の開発
  (1). 各社の2.1D実装対応高密度微細配線技術開発
  (2). 次世代 ”B2itTM” (Buried Bump Interconnection Technology)
     a. 開発コンセプトとその特徴
     b. ビルドアップ配線板 ”B2itTM” の問題点
     c. 2.1D実装対応次世代 ”B2itTM” 配線板開発コンセプトとその特徴 
  (3). 次世代 ”B2itTM” プロセスと断面構造ならびに信頼性特性と絶縁材料特性
     a. プロセスならびに断面構造・写真
     b. 層間接続抵抗の熱履歴による変化とプロセス依存性
     c. 次世代 ”B2itTM” 配線板の絶縁層材料の特性   
  (4). 次世代 ”B2itTM” の層間接続抵抗評価結果と電気信号伝送特性
     a. 層間接続抵抗評価結果
     b. 電気信号伝送特性評価結果
  (5). コアレス高密度・極薄・高多層配線板への次世代 ”B2itTM” 技術の応用展開
     a. プロセスと特徴
     b. バンプ層間接続抵抗と接合メカニズムと特性

キーワード 3D実装 三次元実装 COC POP MOM WOW EPD/EAD 2.5D 2.1D TSV Passive Si-Interposer with RDL IPD RDL Cu/BCB再配線層 BCB-via Xilinx Si-Interposer SSI技術  ガラスインタ−ポ−ザ B2itTM Buried Bump Interconnection Technology 層間接続抵抗評価 電気信号伝送特性評価 コアレス高密度 極薄・高多層配線板 バンプ層間接続抵抗
タグ 基板・LSI設計実装電子機器電子部品
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
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