～ 電子デバイスを構成する薄膜技術、真空技術の基本と特徴、真空技術の電子産業応用技術、真空の製造技術と測定法、薄膜形成技術および薄膜加工技術 ～
・技術を駆使した真空プロセスによる薄膜形成技術を修得し、半導体集積回路素子、各種電子デバイスの新製品開発や設計に活かすための講座
・電子デバイスの開発・製造のための真空技術を基礎から学び、薄膜形成装置の構成、プロセスのポイント、技術者や研究者の誤り易い点を修得し、真空プロセスシステムの構築に活かそう！
・ＷＥＢ会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
昨今、半導体集積回路素子は基より、発光ダイオード、固体受光素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサ）、通信デバイス、フラットパネルディスプレイ、スピントロニクスデバイスなどの各種電子デバイスは我々の夢を実現し、生活を大きく変えてきた。これらの電子デバイスは真空技術を駆使した真空プロセスによる薄膜形成技術によって製造されている。
今回、これらの電子デバイスの開発・製造の視点から真空プロセスの基本である真空技術を基礎から学ぶ。更にそれを応用して、薄膜形成装置の構成、プロセスの考え方のポイントを解説する。
実際に電子デバイスの開発・製造に従事している技術者や研究者と話をすると真空技術に関して誤認しているところがある。例えば、真空の程度を表す単位は「圧力」であるが、世の中で汎用的に使用されている圧力計はゲージ圧計と呼ばれていて科学技術で扱う「圧力」（絶対圧）を測定する機器（絶対圧計）ではない。このような技術者や研究者の誤り易い点に配慮し、真空技術の基礎を「圧力」「真空」の定義から、改めて学ぶと共に、真空プロセスシステムの構築のポイントを解説する。
| 開催日時 |
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|---|---|
| 開催場所 | オンラインセミナー |
| カテゴリー | オンラインセミナー、加工・接着接合・材料 |
| 受講対象者 |
・各種電子デバイス関連企業の若手を含む技術者・研究者の方 ・半導体集積回路、発光ダイオード、固体受光素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳセンサ）、通信デバイス、フラットパネルディスプレイ、スピントロニクスデバイスなどの開発･製造に携わる技術者の方 ・各種電子デバイス向け研究・製造装置の開発技術者の方 ・改めて真空技術の基礎から電子デバイスの製造用真空プロセス装置を学びたい方 |
| 予備知識 | ・大学卒業レベルの物理と化学の知識があれば理解しやすい |
| 修得知識 |
・各種電子デバイスの開発・製造に必要な真空技術の基礎 ・真空プロセス装置の構成とプロセスのポイント |
| プログラム |
１．はじめに ２．真空技術の基本 ３．真空技術の電子産業応用技術 ４．真空の製造技術と測定法 ５．薄膜形成技術および薄膜加工技術 ６．まとめ |
| キーワード | ドライプロセス 機能デバイス 真空技術 粘性流 分子流 真空容器 真空ポンプ 真空計 薄膜形成 真空蒸着技術 イオンプレーティング技術 スパッタリング技術 CVD技術 ALD技術 ドライエッチング技術 薄膜加工技術 |
| タグ | 真空、パワーデバイス、膜、薄膜、表面改質、電子部品、LSI・半導体 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
営業時間 月~金：9:00～17:00 / 定休日：土日・祝日
