～ MEMSの加工技術、マイクロアクチュエータ・センサの動作原理と設計法・加工法、MEMSデバイスのマイコン制御法、ロボットシステムへの応用 ～
・各種MEMSセンサやアクチュエータを活用し、小型機器やロボット応用に活かすための講座！
・代表的なMEMSデバイスの動作原理や設計・加工方法、ロボットへのデバイス応用技術を修得し、MEMSを効果的に活用したセンシングやマイコン制御に活かそう！
・ＷＥＢ会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
MEMSアクチュエータ・センサの基礎と制御法およびロボットシステムへの応用 ＜オンラインセミナー＞
講師の言葉
本セミナーでは、MEMSの基礎知識から代表的であるMEMSデバイス（マイクロアクチュエータ、曲げセンサ、加速度センサ、ジャイロセンサ等）の原理とその加工、そしてそれらを利用した応用について解説します。また、MEMSデバイスを動作するための一つの手法であるマイコン制御を解説し、実演も行います。
応用編では、講師が指導するロボット研究会での様々な活動について述べます。特に、本研究会で試作した遠隔操作型ロボットハンド、水平スタビライザや路面凍結検出システム等について解説します。
セミナー詳細
| 開催日時 |
|
|---|---|
| 開催場所 | オンラインセミナー |
| カテゴリー | オンラインセミナー、電気・機械・メカトロ・設備 |
| 受講対象者 | ・電子部品、ロボット、計測機器、医療機器などの設計、加工、品質管理等に携わるエンジニアの方 |
| 予備知識 | ・高卒程度の物理 |
| 修得知識 |
・MEMSアクチュエータ・センサの原理・加工の基礎知識 ・MEMSデバイスの制御・応用の広い知識 |
| プログラム |
１．MEMSの技術推移と加工技術 （１）．MEMSとは ａ．MEMSの技術推移 ｂ．身近なMEMSデバイス （２）．MEMSの加工技術 ａ．フォトファブリケーション ｂ．成膜 ｃ．エッチング
２．MEMSデバイスの開発 （１）．MEMSマイクロアクチュエータ ａ．アクチュエータの原理 ｂ．デバイス設計 ｃ．デバイス加工 （２）．MEMS曲げセンサ ａ．曲げセンサの原理 ｂ．デバイス設計 ｃ．デバイス加工 （３）．MEMS加速度センサ ａ．加速度センサの原理 ｂ．デバイス設計 ｃ．デバイス加工 （４）．MEMSジャイロセンサ ａ．ジャイロセンサの原理 ｂ．デバイス設計 ｃ．デバイス加工
３．MEMSデバイスの制御法 （１）．マイコン制御 ａ．マイコン制御の概要 ｂ．アナログとデジタルデバイスの制御法 ｃ．マイコン制御の実例 （２）．実演 ａ．曲げセンサ ｂ．加速度センサ ｃ．ジャイロセンサ
４．MEMSデバイスの応用 （１）．ロボット研究会 （２）．ロボットシステムへの応用 ａ．遠隔操作型ロボットハンド ｂ．水平スタビライザ ｃ．路面凍結検出システム
５．まとめ |
| キーワード | MEMS フォトファブリケーション 成膜 エッチング MEMSマイクロアクチュエータ 曲げセンサ 加速度センサ ジャイロセンサ ロボットシステム |
| タグ | 制御、電子部品 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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