～ スパッタリング法の用途と工程管理、スパッタリング法の物理現象、スパッタリング薄膜の品質特性とトラブル防止、スパッタリング法の薄膜の信頼性向上・密着性向上のポイント ～
・スパッタリング薄膜の基礎と薄膜形成のメカニズムを修得し、信頼性向上へ応用するための講座
・経験豊富な講師からスパッタリング薄膜の品質特性や信頼性改善のノウハウを修得し、トラブル未然防止に応用しよう！
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スパッタリング薄膜の基礎とトラブル未然防止・信頼性向上のポイント ＜オンラインセミナー＞
講師の言葉
スパッタリング法は、乾式コーティング技術のPVD（物理的気相成長法）の一つで、半導体等の回路、フラットパネルディスプレイ等の機能層、機械部品の表面被覆、ガラスやフィルムの機能膜など、様々な分野で使用されています。
スパッタリング薄膜は、品質特性が悪化したり、信頼性が低下したりして、要求性能を満たせないといった問題が発生することがあります。これらのトラブルに対応するには、スパッタリング工程フローの理解はもちろんの事、薄膜形成のメカニズムをとらえて、品質特性や 信頼性が悪化するメカニズムを深く理解することが大変重要です。
本講義では、スパッタリング薄膜に豊富な経験を持つ講師が、スパッタリング工程の基礎から、薄膜形成の原理、品質特性や信頼性の改善の具体的な方法について、分かりやすく解説します。
セミナー詳細
| 開催日時 |
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|---|---|
| 開催場所 | オンラインセミナー |
| カテゴリー | オンラインセミナー、加工・接着接合・材料、化学・環境・異物対策 |
| 受講対象者 | ・スパッタリング薄膜に関わる技術者、品質管理者 |
| 予備知識 | ・特に必要ありません |
| 修得知識 |
・スパッタリング薄膜と製造工程の概要 ・スパッタリング薄膜の形成メカニズム ・薄膜の品質特性の改善方法 ・薄膜の信頼性や密着性のトラブルへの対応方法 |
| プログラム |
１．スパッタリング法の基礎 ２．スパッタリング法の物理現象 ３．スパッタリング薄膜の品質特性トラブル防止 ４．スパッタリング薄膜の信頼性向上・密着性トラブル防止 |
| キーワード | スパッタリング 薄膜 真空 塗布 変動 信頼性 密着性 トラブル PVD コーティング 表面処理 化学 |
| タグ | 真空、薄膜、LSI・半導体 |
| 受講料 |
一般 (1名)：44,000円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：38,500円(税込) |
| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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