～ MEMSの基礎と微細加工技術、MEMSデバイス事例と製品化、３Ｄナノ・マイクロデバイスと応用、マイクロ流体デバイスと医療応用 ～
・マイクロデバイスの加工・設計技術と応用事例を修得し、高性能な電子デバイスへの小型化応用技術に活かすための講座！
・MEMSの基礎から電子デバイスの開発と製品化のプロセス、マイクロロボット・マイクロ流体デバイスの応用までを修得し、輸送機器、産業用ロボット、計測機器、医療機器への応用に活かそう！
・ＷＥＢ会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
第１部
MEMS微細加工技術を活用して電子デバイスを小型化すると、スケール（寸法）効果などにより大きなメリットが得られます。例えばセンサにおいては、高感度、高速応答、省電力、省スペース、低コスト化などが可能になります。また、量産が容易である一方、多品種、小ロット生産も容易になり、今後のSociety5．0実現に向けて多品種で高性能にカスタマイズされた電子デバイスの製品化への対応が可能になります。最近ではセンサのみならず、環境発電、医工連携分野などにも応用が進んでいます。以上の背景から、MEMSに関する基礎技術から応用までを習得できるようにご説明し、その後、多数の事例を通じて、大学や公的研究機関を活用した研究開発、製品化へのプロセスを紹介します。
第２部
元々私自身はMEMS、ナノ・マイクロデバイスと呼ばれる装置の開発、特に要素技術である加工の研究に携わってきました。この微小な機械の応用として、細胞を調べたりする応用バイオや医療分野に貢献できるのではないかと考え、医工連携研究等に積極的に参加してきました。
エンジニアでなければ達成できない貢献が必ずありますので、是非皆様のお役に立てればと思います。
| 開催日時 |
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|---|---|
| 開催場所 | オンラインセミナー |
| カテゴリー | オンラインセミナー、電気・機械・メカトロ・設備、加工・接着接合・材料 |
| 受講対象者 |
・加工（MEMS、微細加工）、計測、ロボティクス、材料、医療機器開発等に携わるエンジニアの方 ・設計、加工、品質管理等に携わるエンジニアの方 ・電子部品、ロボット、計測機器、医療機器、等 ・バックグラウンドが機械、電気等のエンジニアの方、化学や生物の方、どなたでも歓迎 |
| 予備知識 | ・理系高卒程度の物理、化学、数学（技術者、研究者の方であれば、特別な専門知識は不要です） |
| 修得知識 |
第１部 ・MEMSの基礎から応用までを俯瞰した知識 ・フォトリソグラフィ、薄膜作製、エッチング技術やフォトマスク設計など、各要素技術について、実務的に必須の知識 ・MEMSデバイスの開発や商品化へのプロセス（MEMS分野に未着手の企業においても、まだまだチャンスが残されていることをご納得いただけます） ・MEMSデバイスが如何に身近な存在になっているか、例えば、スマートフォン、車両向けセンサなど、その一方で産業用ロボット、医療機器向けなど特殊な分野で如何に期待されているかを知ることができ、今後の電子デバイスの新規開発のヒントになるような事例 第２部 ・半導体プロセス未経験者でも、マイクロ流体デバイスの作製技術習得 ・半導体プロセスの基本工程であるリソグラフィで、立体的な３次元構造の作製技術や原理を習得できる ・細胞の操作、成分分離等への応用事例を挙げて、医療応用等にナノ・マイクロデバイスを用いる場合の注意点や考慮すべき課題等の知見 |
| プログラム |
第１部 MEMSデバイスの基礎と電子デバイスへの応用
１．MEMSデバイスの役割と特徴 （１）．MEMSデバイスの役割 ａ．Society5．0 実現に向けて ｂ．MEMS応用・実用化の経緯 ｃ．MEMSの市場規模と今後 （２）．MEMSの特徴 ａ．MEMSの定義 ｂ．スケール（寸法）効果の恩恵 ｃ．高機能性薄膜が果たす役割
２．MEMS微細加工技術 （１）．フォトリソグラフィ （２）．製膜技術とエッチング技術 ａ．各種製膜方法について ｂ．各種高機能性薄膜の紹介 （３）．エッチング技術 ａ．ウェットエッチング ｂ．ドライエッチング （４）．設計 ａ．有限要素法などを援用した設計 ｂ．フォトマスク向けCAD入力の実際 ｃ．事例紹介：音響センサ向けフォトマスク一式
３．MEMSデバイスの研究開発と応用事例 （１）．開発に着手してから製品化まで ａ．大学・公的研究機関の活用ポイント ｂ．MEMSファンドリの役割 ｃ．実装化技術 （２） ．MEMSデバイス事例 ａ．各種センサ ～赤外線センサ、流量センサ、聴覚補綴器など～ ｂ．環境発電 ～光・熱電・振動発電デバイスなど～ ｃ．RFフィルタ素子 ～SAWデバイス、BAWデバイスなど～ ｄ．アクチュエータ、その他
第２部 マイクロマシン・マイクロデバイスと医療応用
１．３Ｄナノ・マイクロデバイス （１）．リソグラフィの特徴 ａ．光を用いた加工法の特徴 ｂ．加工工程 （２）．リソグラフィを応用した３Ｄ加工 ａ．ナノマイクロスケールの立体構造作製法 ｂ．マイクロニードル、回折格子等応用事例 （３）．電鋳・成型との組み合わせ
２．マイクロロボット （１）．細胞操作用ロボットアーム （２）．ロボティクス ＋ ナノ・マイクロデバイス
３．応用事例：マイクロ流体デバイス （１）．人工毛細血管による赤血球解析、診断応用 ａ．マイクロ流体デバイスの作製方法 ｂ．マイクロ流体デバイスの特徴 ｃ．赤血球等細胞の特徴と計測事例 （２）．成分分離装置（粒子、細胞の選別）への応用 （３）．その他細胞操作応用 ａ．細胞への負荷試験 ｂ．再生医療、診断応用への期待 |
| キーワード | MEMS 高機能性薄膜 フォトリソグラフィ エッチング技術 赤外線センサ 流量センサ 環境発電 アクチュエータ ３Ｄナノ・マイクロデバイス マイクロロボット マイクロ流体デバイス |
| タグ | センサ、医療機器、自動車・輸送機、電子部品 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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