～ 真空技術の基礎、真空ポンプの排気原理と選定法、圧力測定方法、気密の保持技術、リークテストの勘所と流入防止のポイント ～
・真空技術の基礎から活用のポイントを修得し、成膜・輸送・断熱・包装・乾燥・撹拌・表面処理に活かすための講座！
・真空の原理から各種真空ポンプの原理と選定法、気密保持やリークテスト法を修得し、効果的な真空機器の活用とリークによるトラブル防止に活かそう！
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真空技術の基礎と真空ポンプ活用上の留意点およびリークテストのポイント ＜オンラインセミナー＞
講師の言葉
この講座は、最初に「真空」とはどのような世界なのかを説明する。真空中の気体分子の振舞いは理想気体を想定することで理解できるので、それを用いながら真空特有の現象を解説していく。
その後、真空にするための排気用真空ポンプを説明する。この真空ポンプは、現在使用されているものだけでも多種多様であるが、それは幅広い真空の応用分野のそれぞれに適した真空ポンプが存在するからである。
次に真空の度合いを測る計測器（真空計）について解説する。この計器は真空のさまざまな物理現象を測ることになるので、その計測値に対する正しい理解をしなければならない。真空機器は絶えず大気に対する気密を保たなければならない。このための機械的構造を解説していく。
最後は、気密構造がしっかり保たれているかどうかを調べるリークテストについて解説する。その理由は、このテストは真空機器を取り扱うために必要なテクニックであるためである。
以上は本講座の基本構成の説明であるが、真空技術を実際の産業に応用する上で注意しなければならないことがいくつかある。そのような事項についても、講義の中で触れて行くことにする。
セミナー詳細
| 開催日時 |
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|---|---|
| 開催場所 | オンラインセミナー |
| カテゴリー | オンラインセミナー、加工・接着接合・材料、化学・環境・異物対策 |
| 受講対象者 |
・若手社員、部署を異動した方、原理を再確認したい方など、基礎から真空について学びたい方 ・家電、電子部品、薄膜製造、建設、光学、冷凍乾燥、食品、断熱、冶金、化学工学等で真空に関わる方 |
| 予備知識 | ・技術系の短大や高等専門学校の卒業程度の知識があれば十分です。まったく真空の知識がない初学者の方にも十分理解できるように講義します。 |
| 修得知識 |
・真空装置を理解するために必要な真空技術の知識 ・真空の物理的な意味、真空ポンプ、真空計測、気密シールの原理とその特徴に関する知識 ・真空装置を運転するための知識 ・真空機器のメンテナンスに必要なリークテストの方法 |
| プログラム |
１．真空技術の基礎：真空について図を交えて解説 （１）．真空の世界 （２）．真空中の気体分子の運動 ａ．理想気体 ｂ．マクスウェルの速度分布 ｃ．平均自由行程 ｄ．入射頻度 （３）．コンダクタンスと気体の流れ （４）．オリフィスコンダクタンスと体積表示とポンプの排気速度の表示 （５）．気体分子の流れ（粘性流と分子流）と導管のコンダクタンス （６）．気体分子が運ぶ物理量 （７）．ガス放出と真空排気 （８）．真空の壁の表面で起こっていること （９）．気体分子の吸着と脱離 （10）．脱離エネルギーと排気時間（ベーキング効果） （11）．真空用材料（金属・非金属）
２．真空ポンプの排気原理と選定：真空をつくる （１）．バケツで水を汲みだすように、ある容積を大気側で取り出す a. ダイアフラムポンプ ｂ．油回転ポンプ ｃ．ルーツ型ドライポンプ、 （２）．気体分子をある方向へ動かし圧縮する a. ターボ分子ポンプ （３）．気体分子を冷たい面に付着させ、氷として固定する a. クライオポンプ （４）．気体分子を化学反応で捕まえる a. スパッターイオンポンプ ｂ．チタンサブリメーションポンプ （５）．使用上の注意事項（真空ポンプの説明時に合わせて述べる）
３．圧力測定（真空計） （１）．日本の真空度標準 （２）．圧力を測定する （３）．気体分子による熱の移動量を測定する （４）．気体分子による粘性を測定する （５）．気体分子の数を測定する（イオン化して電流として測定） （６）．分圧計
４．気密シール ※真空にした容器の気密を保つための技術 （１）．接合技術 （２）．真空フランジ （３）．軸シール
５．リークテストの勘所 （１）．許容リーク量 ・リークはどこまで許されるか （２）．リークの有無の判断法 （３）．リークの場所の判断法 （４）．リークデテクタ （６）．実際のリークテストとリークテストの勘所
６．真空に関わるトラブル （１）．圧力が順調に下がらない （２）．真空中の気体分子の異常 （３）．その他について質疑応答 |
| キーワード | 真空 コンダクタンス 気体分子 吸着 脱離エネルギー 排気時間 ベーキング効果 ダイアフラムポンプ ターボ分子ポンプ スパッターイオンポンプ 圧力測定 分圧計 気密シール リークテスト |
| タグ | 膜、薄膜 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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