～ スパッタリングの基礎、薄膜製品の検査と評価法、不良の発生要因とトラブル対策・事例、ＩＴ化による品質改善と向上策 ～
・スパッタリング技術の基礎から学び、トラブルの発生要因とその対処法、勘所を修得し、トラブル未然防止に活かすための講座
・スパッタリングの原理や現象を理解し、不良の発生要因、トラブル対策を学び、トラブル未然防止、品質向上に活かそう！
・ＷＥＢ会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
スパッタリングの基礎とトラブル未然防止策および品質改善、向上のための管理手法 ＜オンラインセミナー＞
講師の言葉
薄膜形成では欠かせない技術である「スパッタリング」は、光学フィルターや半導体電子デバイスなどの幅広い産業展開がなされてきました。
現在では、スパッタリングは成熟した成膜技術と見られており、装置産業の一環となって導入と利用が盛んです。しかしながら、多くは、ブラックボックス化した自動化成膜装置を導入するだけで、装置上の工夫や新技術の適用などが実効的に困難であり、今後の競争力を高めるのに不十分となります。スパッタリングの原理や現象を科学的な視点で理解し、基礎データに基づいた合理的な考えを持って、スパッタリング技術を捉えていくことが重要になります。
そこで、当セミナーでは、スパッタリング法の基礎からトラブル対策までを網羅的に学ぶ機会を設けます。特に、成膜条件パラメータと膜特性の相関関係、薄膜の目的とそれに応じた評価、他のＰＶＤ法との比較によるベンチマーク検討、装置構成上の工夫などを紹介します。
また、スパッタリング熟練者の技能をデジタル化する手法に関しても紹介し、トラブル対策への考え方の蓄積手法、数理モデルによる薄膜工程のＩＴ化など、工程管理に活用できる新しい管理手法の事例についても示します。
本セミナーは受付を終了いたしました
セミナー詳細
| 開催日時 |
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| 開催場所 | オンラインセミナー | |
| カテゴリー | オンラインセミナー、加工・接着接合・材料 | |
| 受講対象者 |
・スパッタリングに関わる若手・初学者や、問題・トラブルを抱えている方 ・熟練者の技能やトラブル対処策などの情報を蓄積する手法を学びたい方 |
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| 予備知識 |
・特に必要ありません。基礎から解説します |
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| 修得知識 |
・スパッタリング技術の基礎 ・スパッタリング膜の分析、評価法 ・不良、トラブルの発生要因とその対処法、勘所 ・ITを活用した品質管理手法、熟練者の思考過程の蓄積手法、ＡＩの適用場所など |
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| プログラム |
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| キーワード | スパッタリング 蒸着膜 パルス電源 マグネトロン カソード 遷移領域制御 プラズマエミッション制御 透明導電膜 バリア膜 光学膜 薄膜工程 成膜 PVD法 CVD 重回帰分析 ドライコーティング 薄膜形成 イオンプレーティング 分子線エピタキシー 原子層成 めっき 溶射積層造 | |
| タグ | プラズマ、材料、薄膜、表面改質 | |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
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| 会場 |
オンラインセミナー本セミナーは、Web会議システムを使用したオンラインセミナーとして開催します。 |
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