• 2021年05月19日(水) 10:30 ~ 17:30

 １．基礎の無理解とブラックボックス化が起こす大事故！

２．成膜と真空の密な関係

　　（１）．成膜は目的、良い真空はその手段の１つ

　　（２）．何故、良い成膜に良い真空が必要なのか？

　　（３）．そもそも良い真空とはどんなものか？

　　（４）．成膜室の真空が良ければそれで良いのか？

３．無駄なトラブルと事故を避けるため、１時間で学ぶ真空工学の基礎のキ！

　　（１）．気体分子運動論と気体の性質

　　（２）．気体の流れと真空排気

　　（３）．真空排気の理想と現実

４．これだけは抑えたい、２時間で学ぶ成膜技術の基礎のキ！

　　（１）．成膜原料の供給（蒸発、スパッタリング、気体、プラズマ粒子など）

　　（２）．薄膜の育ち方とその条件

　　（３）．ＰＶＤとＣＶＤ

　　（４）．こんなにある実際の成膜法

　　（５）．こんなにある薄膜の評価法

５．真空システムにおけるトラブル事例と解決法

　　（１）．真空材料の正しい選び方

　　（２）．デタラメな機械加工や接合にダマされるな

　　（３）．低真空用でも無視できない表面処理や表面改質

　　（４）．低真空用でもご利益のあるプリベーキング・ベーキング

　　（５）．真空機器構成部品（ポンプや真空計等）の原理と特徴

　　（６）．絶対避けたい仮想リーク

　　（７）．ポンプ排気速度が無駄になる真空配管

　　（８）．オイルフリー排気系の落とし穴

　　（９）．ケチってはいけない真空システムアクセサリー

　　（１０）．後の祭りに成り易い？？周辺機器・設備

　　（１１）．汚染を引き起こさない真空装置の正しい扱い方

６．成膜装置におけるトラブル事例と解決法

　　（１）．成膜原料は純度が命

　　（２）．吸っても安全な成膜原料ガスは１つもない！

　　（３）．全圧計だけでは不十分！　残留ガス質量分析計（プロセスガスモニタ）が解決する膜作り

　　（４）．その真空部品は汚染源になっていない？　汚染ガスとダストの発生源を潰そう

　　（５）．スパッタリング収率を理解して不純物を避け、装置も長生き

　　（６）．大面積化、ハイパワー化の必要条件と功罪

　　（７）．成膜真空容器に鎧を付けよう

７．まとめ

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