真空蒸着、スパッタ、CVDによる成膜技術の基礎と留意点およびトラブル対策　＜オンラインセミナー＞

講師の言葉

　薄膜技術は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス、太陽電池、建材、食品産業と、さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では多機能で高性能な成膜装置が市販されており、かつてと比べて容易に薄膜形成が行えるようになりました。しかしながら、適切な薄膜形成のためには、薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合、所望の薄膜を得るためには各種成膜条件が膜質におよぼす影響を考慮しつつ、条件を選択する必要があります。　

　また、成膜プロセスで遭遇する種々のトラブルを解決するためには、その原因を分析し、適切に対処すること求められます。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。

　本講座では、成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

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