～ プラズマの基本的性質、シース、計測診断技術および大気圧プラズマの特長と応用例 ～
・プラズマ技術について図や単位、等価回路を用いて視覚的にわかりやすく修得し、実務へ活かすための講座
・容量結合、誘導結合、磁気中性線放電、マイクロ波、電子サイクロトロン共鳴プラズマ等の例をもとに、プラズマ技術を修得し、産業応用に活かそう！
・ＷＥＢ会議システムの使い方がご不明の方は弊社でご説明いたしますのでお気軽にご相談ください。
プラズマの基礎と産業応用 ＜オンラインセミナー＞
講師の言葉
企業で働くエンジニアの方を対象に、プラズマ技術の基礎と産業への応用について講義します。本セミナーでは、できるだけ式は使わず、図、単位、および等価回路を用いてプラズマを表現します。
真空のプラズマに関しては、容量結合プラズマ（CCP）、誘導結合プラズマ（ICP）、磁気中性線放電（NLD）プラズマ、マイクロ波プラズマ、電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ等を例に挙げ、その原理と装置例について講義します。また、プラズマプロセシングで重要なシースについてもお話します。そしてドライエッチングに関し、エッチング速度とプラズマパラメータの関係を説明します。
大気圧プラズマに関しては、コロナ放電、バリヤ放電、沿面放電等の放電形式の説明をします。そして、大気圧プラズマの応用例として、材料表面プロセス、プラズマ環境応用、プラズマ滅菌、プラズマ農業等の説明を致します。
セミナー詳細
| 開催日時 |
|
|---|---|
| 開催場所 | 日本テクノセンター研修室 |
| カテゴリー | オンラインセミナー、加工・接着接合・材料 |
| 受講対象者 |
・プラズマを産業界の現場で利用するエンジニアの方 ・企業のエンジニアで、プラズマ技術に興味をお持ちの方 ・研究機関でプラズマ技術の研究開発に従事する研究者の方 |
| 予備知識 |
・大学教養課程（１、２年生）程度の物理の知識があれば理解が深まりますが、知識がなくても大丈夫です |
| 修得知識 |
・真空のプラズマや大気圧プラズマに関するそれぞれの性質・特徴 ・各種プラズマ装置のコンセプトと例 ・プラズマ装置に発生するプラズマパラメータの意味 ・プラズマプロセシングにおけるプラズマパラメータ ・各種プラズマの産業への応用例 |
| プログラム |
１．プラズマを利用している分野 ２．プラズマの基礎的性質 ３．電離と解離 ４．無磁場のプラズマと磁化プラズマ ５．容量結合プラズマ（CCP） ６．誘導結合プラズマ（ICP） ７．磁気中性線放電（NLD）プラズマ ８．マイクロ波プラズマ ９．電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ １０．シース １１．プラズマ計測診断技術 １２．プラズマの応用例：ドライエッチング １３．大気圧プラズマの特長と応用例 |
| キーワード | 容量結合プラズマ 誘導結合プラズマ 磁気中性線放電 マイクロ波プラズマ 電子サイクロトロン共鳴プラズマ シース ドライエッチング スパッタエッチング 大気圧プラズマ |
| タグ | 精密加工・組み立て、表面改質 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
日本テクノセンター研修室〒 163-0722 東京都新宿区西新宿２－７－１ 新宿第一生命ビルディング（２２階）- JR「新宿駅」西口から徒歩10分 - 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分 - 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分 電話番号 : 03-5322-5888 FAX : 03-5322-5666 |
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