薄膜の応力・密着力の測定法と密着性改善・剥離トラブル対策

~ 薄膜の内部応力の性質と低減法、密着性不良要因・密着性改善方法、膜応力・密着力の具体的な測定法、剥離トラブルへの対策手順 ~

・現役技術者の講師が、基礎から実務を考慮した具体的な測定法やトラブル対処について解説する講座!

・薄膜(金属膜・無機膜・樹脂膜)の密着性測定や改善手法について具体的に学び、剥離トラブル対策に活かそう!

講師の言葉

本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に、さらには樹脂塗布膜を含んで、薄膜の内部応力や密着力を理解し、制御するために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルが生じた場合にどのように対処するかを直感的にわかりやすく解説します。

初学者、中堅技術者で薄膜の内部応力と密着性に関してその本質を基本から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティング、さらには品質管理で応力や密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。

セミナー詳細

開催日時
  • 2018年07月26日(木) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料
受講対象者 ・薄膜(金属膜・無機膜・樹脂膜)の内部応力制御や密着性向上策について基礎から修得したい方
・新規技術開発や製品製造で薄膜の内部応力や剥離に関わる課題を抱えられている方
・各種電子・光学デバイス(自動車部材、電池、照明、ディスプレイ)、コーティング、塗膜、樹脂膜などに携わる方
予備知識 ・薄膜に関わる技術者の方であれば特に必要ありません
修得知識 ・薄膜の内部応力や密着性に関する基本的知識
・薄膜の内部応力や密着力測定技術の概要、測定上の具体的な注意点、適用上の限界
・薄膜の内部応力の制御や密着力改善手法に対する系統的な理解
・剥離トラブルへの具体的な対応方法
プログラム

1.薄膜の内部応力:内部応力の理解と制御のために必要な基礎知識

(1).薄膜の内部応力とは何か

(2).なぜ内部応力が発生するのか:金属膜・無機膜・樹脂膜の内部応力発生メカニズム

(3).知っておくべき内部応力の性質:パターニングされた膜、多層膜における内部応力

(4).内部応力を低減する方法

 

2.剥離と薄膜の内部応力の関係:応力を低減すれば剥離は防げるのか?

(1).表面・界面エネルギーおよび剥離仕事とは:密着力の本質

(2).実際の薄膜/基板界面の構造

(3).密着と粘着・接着との違い

(4).なぜ剥離が生じるのか:様々な剥離トラブルの形態観察から密着性不良を起こした要因を読み取る方法

(5).薄膜の剥離/破壊・密着力を理解し、改善に繋がる効果的な考え方

(6).密着性改善の具体的な方法

 

3.薄膜の応力・密着力の測定:どの方法を選べば良いのか?どこまで測定値は信頼できるか?

(1).膜応力の具体的な測り方とポイント:

a.X線回折法

b.ラマン分光法

c.基板曲率法

d.最近の新しい膜応力の評価方法

(2).密着力の具体的な測り方とポイント:

a.テープテスト

b.3点曲げテスト

c.スクラッチテスト

 

4.剥離した!:なぜ密着性が悪いかを調べ、対策を立てる具体的手順

(1).剥離領域の解析手順と具体的な材料評価のやり方

(2).密着不良の原因解析と密着力改善の一連のプロセスの具体例

キーワード 内部応力 表面・界面エネルギー 剥離仕事 X線回折法 ラマン分光法 基板曲率法 テープテスト スクラッチテスト 剥離領域 密着不良
タグ 化学工学薄膜基板・LSI設計LSI・半導体
受講料 一般 (1名):48,600円(税込)
同時複数申込の場合(1名):43,200円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
こちらのセミナーは受付を終了しました。
次回開催のお知らせや、類似セミナーに関する情報を希望される方は、以下よりお問合せ下さい。
contact us contact us
各種お問い合わせは、お電話でも受け付けております。
03-5322-5888

営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日