MEMS技術の基礎とセンサへの応用

〜 MEMSセンサの具体的設計とシステム化技術、マルチセンサモジュールのウエアラブルノードとしての応用 〜

・IoTで需要が急増しているMEMSセンサ技術を学び応用するための講座

・MEMSデバイスの具体的な設計、製造、評価方法を修得し、小型・高機能な製品開発や有効活用に活かそう! 

講師の言葉

 MEMS技術は、特にセンサに於いてはすでに成熟した技術とみなされておりますが、実際に手がけようとしたときには高額な装置や環境が必要である、ノウハウが必要であるなど、敷居が高いものであると思われます。しかし現在では多数のファウンダリサービスがあり、これらをうまく活用することでファブレスで自前のMEMSデバイスを製造することも可能となっております。とはいえ、やはりデバイス設計手法やウエハ処理、その限界などを押えておかなければ競争力のあるデバイスの開発は不可能です。
 本講習では、MEMSデバイスの具体的な設計の仕方、作り方、評価の仕方をご提示すると共に、現在のMEMSセンサの状況、簡易なリバースエンジニアリングの例示、さらにはそのウエアラブルセンサノードへの応用の具体例、また得られたデータ分析結果についても議論します。これからMEMSデバイスを自社で製品化したい方のみならず、現在市販されているMEMSデバイスの有効な使い方を知りたい方にもフィットする内容にしたいと思っています。

本講座の受付は終了いたしました

セミナー詳細

開催日時
  • 2018年05月17日(木) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 電気・機械・メカトロ・設備
受講対象者 ・センサ関連の研究開発者の方 ・MEMSセンサ応用にかかわる研究開発者の方 ・センサノードやIoT関連の研究開発者の方
予備知識 ・できれば電気の基礎(静電容量や簡単な電子回路) ・機械の基礎(材料力学)があればなお良い
修得知識 ・MEMSセンサの現状、その内部構成と外部インターフェイス一般 ・MEMSセンサの具体例(IoTの代表格、ウエアラブルセンサノード)
プログラム

1.MEMS技術の基礎
  (1).集積回路に基づくデバイス作製技術
    a.バッチ処理について
    b.構造設計技術
    c.デバイス作製技術/パッケージング技術
    d.評価技術
  (2).MEMSセンサの具体的設計論:慣性センサを例に
    a.加速度センサ
    b.ジャイロ
  (3).システム化技術
    a.MEMSセンサの実際/リバースエンジニアリング
    b.結合される電子回路/アナログ・ディジタル
    c.多種類のセンサを1チップに融合:コンボセンサ
    d.マイクロプロセッサとMEMSセンサの接続:I2C、SPI

 

2. MEMSセンサの応用
  (1).マルチセンサモジュール
    a.多種類のセンサをモジュール化
    b.マイコンと結合
    c.ワイヤレスネットワーク化、適切な無線方式について
  (2).マルチセンサモジュールのウエアラブルノードとしての応用
    a.生体モニタリングシステム概要
    b.取得した連続データの例示と意味理解
    c.マルチポイント計測による血圧推定

 

3. 将来のMEMSセンサ像
  (1).アクチュエータの併用
  (2).100円センサ(低価格化の追求)
  (3).100年センサ(長寿命化の追求)

キーワード MEMS IoT 慣性センサ 加速度センサ ジャイロ 集積回路 コンボセンサ 生体モニタリング
タグ センサLSI・半導体
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 新宿第一生命ビルディング(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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