〜 三フッ化窒素の特性と安全性対策、新規用途への活用と開発動向 〜
・三フッ化窒素を中心に、安全性・化学反応・製造方法・新規の用途について徹底解説する講座
・三フッ化窒素を安全に取り扱い、新規の用途へ有効な活用を行うための知識が学べる特別講座！
産業用フッ化物ガスの基本特性と応用および安全性対策
講師の言葉
三フッ化窒素 (NF3) は、1928年にRuffが溶融酸性フッ化アンモニウム (NH4F-HF) を黒鉛陽極で電解して合成した最初の窒素のフッ化物で、常温では無色の安定な気体であるが、高温では酸化力が強く、安定で取り扱いやすいフッ素化剤として利用できる化合物である。
本講演では、フッ化物ガス（フッ化水素、フッ素、三フッ化窒素、フロン類、六フッ化硫黄）の基本特性、特に、三フッ化窒素の物理化学的性質（諸物性）を詳細に述べる。また、フッ化物ガスの取り扱いにはその安全性が必要であるので、三フッ化窒素を中心とするフッ化物ガスの安全性について述べるとともに、続発したフッ化物ガス事故の原因と今後の対策についても触れたい。
さらに、三フッ化窒素の製造方法や三フッ化窒素の化学反応について紹介し、最後に、三フッ化窒素の用途として、既に実用化されている半導体エッチングガスやCVDチャンバーのクリーニングガスについて説明する。ついで、最近実用化したSiCのプラズマエッチングと表面平滑化、今後、開発される可能性のある傾斜有機フッ化物膜、リチウムイオン二次電池負極用炭素薄膜の作製について解説を行なう。
セミナー詳細
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| 開催場所 | |
| カテゴリー | 化学・環境・異物対策、品質・生産管理・ コスト・安全 |
| 受講対象者 | ・フッ化物ガス製造関連の研究者・技術者 ・半導体、太陽電池、液晶ディスプレイ関連の研究者・技術者 ・リチウム二次電池関連の研究者・技術者 ・フッ化物ガスによる無機・有機材料の表面処理・改質を行なっている研究者、技術者など |
| 予備知識 | ・化学の知識 |
| 修得知識 | ・フッ化物ガス（三フッ化窒素などのフッ化物ガスの基礎知識と安全性） ・半導体関連ガスの特性と比較 ・プラズマ重合による傾斜フッ化物薄膜の作製およびsp2系炭素被膜の作製とリチウム電池への応用 ・パワーデバイス用半導体となる炭化ケイ素（SiC）のプラズマエッチングおよび表面平滑化 |
| プログラム |
１． フッ素の特徴と生産能力 ２． フッ化物ガス（フッ化水素（HF）、フッ素（F2）、三フッ化窒素（NF3）、六フッ化硫黄（SF6）など） ３． フッ素および三フッ化窒素（NF3）の安全性 ４． 三フッ化窒素（NF3）の化学反応 ５． 三フッ化窒素（NF3）の製造方法 ６． 三フッ化窒素（NF3）の用途 |
| キーワード | フッ素 三フッ化窒素 NF3 四フッ化炭素 六フッ化硫黄 Air Products 法 セントラル硝子法 溶融塩電解法 田坂・渡邊法 BDD電極 |
| タグ | 安全、化学、化学工学 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
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