• 2016年07月12日(火) 10:30 ～ 17:30

１． 工業洗浄の目的と目標

２． 汚れとは
　　（１）．汚れの種類と具体例
　　（２）．汚れの付着形態と付着力
　　（３）．ファンデルワールス力とHAMAKER定数

３． 汚れの除去メカニズムと再付着防止
　　（１）．汚れの溶解、可溶化
　　（２）．汚れの分解
　　（３）．物理作用力による剥離
　　（４）．付着固体面の表層エッチング
　　（５）．気泡界面吸着
　　（６）．ゼータ電位制御

４． 洗浄剤の種類と特徴
　　（１）．水系洗浄剤
　　　　a．アルカリ洗浄剤
　　　　b．中性洗浄剤
　　　　c．酸性洗浄剤
　　　　d．機能水
　　（２）．非水系（溶剤）洗浄剤
　　　　a．可燃性洗浄剤（炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤）
　　　　b．不燃性洗浄剤（塩素系、フッ素系、臭素系溶剤）
　　　 ｃ．マイクロエマルジョン洗浄剤
　　（３）．準水系洗浄剤
　　　　・グリコールエーテル＋水混合洗浄剤

５． 効果的洗浄法
　　（１）．湿式洗浄
　　　　a．ブラシ洗浄法
　　　　b．噴射洗浄法
　　　　c．二流体噴射洗浄法
　　　　d．超音波洗浄法
　　　　e．ファインバブル洗浄法
　　　 f．真空（圧力スイング）洗浄法
　　（２）．乾式洗浄
　　　　a．光洗浄
　　　　b．大気圧プラズマ洗浄
　　　　c．パルスレーザー洗浄
　　　　d．超臨界炭酸ガス流体洗浄

６． リンスと乾燥
　　（１）．リンスの要点
　　（２）．しみを作らない乾燥
　　　　a．遠心力乾燥
　　　　b．蒸気乾燥
　　　　c．マランゴニ乾燥

７． 洗浄評価の目的
　　（１）．清浄度目標達成の確認
　　（２）．洗浄効果の評価

８． 簡易洗浄評価法
　　（１）．水濡れ性による評価
　　（２）．接触角測定
　　（３）．拭き取り法
　　（４）．テープ剥離法

９． 汚れの定量測定法
　　（１）．有機汚れの定量法
　　　　a．サンプリング法
　　　　b．紫外吸光度法
　　　　c．ガスクロマト法（GC−MS法）
　　　　d．赤外多重反射測定法
　　（２）．残存粒子計測法
　　　　a．顕微鏡法
　　　　b．光散乱計数法
　　（３）．金属汚れ定量法
　　　　a．微量金属汚れのサンプリング法
　　　　b．フレームレス原子吸光法
　　　　c．誘導結合プラズマ質量分析法（ICP−MS）
　　　　d．全反射蛍光X線分析法
　　（４）．イオン汚れの定量法
　　　　a．イオン汚れのサンプリング法
　　　　b．イオンクロマト法

１０． 表面分析による微量汚れの検出
　　（１）．オージェ電子、光電子分光法
　　（２）．二次イオン質量分析法

日本テクノセンター研修室