難加工基板(サファイア・GaN等)の結晶成長・加工・最終仕上げ研磨技術とその応用

〜 結晶成長技術と研磨・CMPの基礎から難加工基板の反り制御技術、超精密研磨のメカニズム分析、新しい研磨加工技術動向 〜

・サファイアやGaNなど近年脚光を浴びている材料基板の加工技術について専門家の方々が最新技術を解説する講座

・結晶品質を満足させる結晶成長技術や効率的な難加工技術を先取りし、高品質な製品開発へ応用しよう!

講師の言葉

 サファイアをはじめとする難加工基板は窒化物LEDを作製するための下地基板として近年脚光を浴びています。
 本セミナーでは、このような難加工基板製造を理解するための基礎となる結晶成長技術、基板加工技術について解説します。
 またサファイアや窒化ガリウムの基板加工技術について、基礎から応用までを解説します。
 講師らによる最新の分析結果についても講義し、参加者各位の理解を深めます。

セミナー詳細

開催日時
  • 2016年03月08日(火) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料
受講対象者 ・結晶成長や基板加工の初学者の方 ・経験者であるが難加工基板の経験が浅い方  (電子材料、電子部品、半導体、光学部品、LED等関連企業の方) ・研磨加工技術に従事される技術者の方
予備知識 ・特に必要ありません
修得知識 ・結晶成長から難基板加工の一般的・基礎的な流れを理解し、サファイア基板やGaN基板などに特化した事例の紹介を踏まえることで、材料特有の加工難易度・現状や課題を修得する
プログラム

1.単結晶成長技術と基板加工技術の基礎
  (1).単結晶成長技術の基礎と応用
    a.機能性結晶材料とその作製法
    b.液相成長法によるサファイア単結晶成長
    c.結晶成長技術の改善―酸化ガリウム単結晶のEFG法による成長―
  (2).単結晶素材の基板加工技術の基礎
    a.一般的な基板加工の流れ
    b.研磨加工技術の分類と超精密ポリシング(CMP)の位置づけ
  (3).研磨加工技術の基礎理論
    a.プレストンの法則
    b.研磨パッドと基板相互間での研磨圧力と相対摩擦速度の基礎理論
    c.プレストンの法則に従った加工例
  (4).CMPの基礎
    a.CMPにおける消耗副資材の役割
    b.消耗副資材の選定方法
    c.研磨条件の基本的選定法に関する一般論

2.難加工基板の研磨加工
  (1).難加工基板に用いられる研磨装置
    a.難加工基板の標準研磨プロセスと加工機
    b.ラップ加工機(研削とラップの違い)
    c.ダイヤラップ加工とは
    d.超精密ポリシング(CMP)用加工機
    e.研磨定盤面精度や平面度の重要性
    f.難加工基板のための加工機の課題
  (2).難加工基板の研磨用消耗副資材について
    a.基板加工に関わる消耗副資材とは
    b.基板加工に関わる消耗副資材のトレンド

3.基板加工技術の応用
  (1).CMPにおける研磨メカニズムとその応用
    a.In-situ計測技術を導入した最新モニタリング研磨加工技術
    b.研磨パッドコンディショニングのモニタリング技術
    c.各種モニタリング結果例
    d.モニタリング結果のマルチ分析に基づく研磨メカニズムの考察
    e.プレストン則の応用展開―マルチディスカッション―
  (2).難加工次世代材料の研磨加工―窒化ガリウムを例として―
    a.次世代デバイスに用いられる難加工結晶材料
    b.窒化ガリウム単結晶成長法
    c.窒化ガリウム基板の研磨ダメージ解析
    d.窒化ガリウム基板の超精密ポリシング(CMP)の高速化
    e.難加工結晶素材のための新しい研磨加工技術
  (3).オプトエレクトロニクスデバイスの最新技術
    a.サファイア基板の反り制御技術
    b.LED高輝度化のためのパターンサファイア基板
    c.次世代オプトエレクトロニクスデバイス用材料開発動向

キーワード 難加工基板 サファイア GaN 結晶成長 研磨・CMP 超精密ポリシング プレストン則 モニタリング 研磨ダメージ解析
タグ 研磨パワーデバイス精密加工・組み立て光学電子部品LED・有機EL・照明LSI・半導体
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 新宿第一生命ビルディング(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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