プラズマを利用した表面処理技術の基礎と表面改質への応用　＜オンラインセミナー＞

講師の言葉

　プラズマを利用した表面処理技術は、金属、半導体、セラミックス、高分子など、さまざまな材料表面に対して応用されています。主要なプラズマ表面処理技術は、主に光学分野や半導体製造分野において飛躍的に発展してきましたが、その技術は他の分野にも広く適用され、多くの工業製品の製造工程において、必要不可欠かつ継続的な発展が必要な技術と認識されています。

　本講演では、プラズマ表面処理技術の大きな２本の柱である、薄膜堆積技術と表面改質技術について、それぞれ原理と特徴、さらに実運用上のノウハウや注意点も交えながら解説します。また、近年開発された大気圧プラズマ、液中プラズマの技術を紹介するとともに、医療・農業分野など、これまでプラズマ技術が利用されていなかった分野への技術展開についても紹介します。

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