半導体センサ技術の基礎と応用および設計のポイント

講師の言葉

近年の社会では自動車から携帯機器に至るまで様々なシステムが電子化され、高度な機能が実現されています。これらの電子システムの実現には最先端の半導体技術を用いたCPUなどのLSIに加えて、外界の情報や機械的な状態量を検出するためのセンサが重要な役割を果たしてきました。その中でもマイクロマシーニング技術を用いたMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技術はセンサの小型化・高性能化を可能にし、加速度センサや振動ジャイロなど多くのセンサの普及へと繋がりました。
本講座ではこれらのセンサ、特に半導体技術を用いるようなマイクロセンサについて理解してもらうために半導体センサの総論とマイクロセンサ実現のためのマイクロマシーニング技術を述べた後、代表的なセンサについて、その基本構造、動作原理、基礎的な設計手法について解説し、最近の開発動向についても紹介したいと思います。

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