~ 位置決め制御・流量制御・温度制御・プラズマ制御の制御系設計、フィードバック制御器設計の勘所と実践的チューニング、反復学習制御の基礎と機械学習の融合 ~
・目標値への完全追従制御を実現するための制御系設計法を修得し、高精度な製品開発に応用するための講座
・フィードバック制御器設計の勘所と実践的チューニングや反復学習制御と機械学習の融合技術を実践的に修得し、高速かつ高精度な制御技術に活かそう!
・MATLABのサンプルコードを配布いたします
~ 位置決め制御・流量制御・温度制御・プラズマ制御の制御系設計、フィードバック制御器設計の勘所と実践的チューニング、反復学習制御の基礎と機械学習の融合 ~
・目標値への完全追従制御を実現するための制御系設計法を修得し、高精度な製品開発に応用するための講座
・フィードバック制御器設計の勘所と実践的チューニングや反復学習制御と機械学習の融合技術を実践的に修得し、高速かつ高精度な制御技術に活かそう!
・MATLABのサンプルコードを配布いたします
高速、かつ高精度にダイナミクスを制御する技術は、半導体製造装置や工作機械、鉄道や自動車、電力機器などの根幹を支えています。我々は、モータ構造最適化といった物理層から、理想のサーボアンプ・空圧バルブの開発、データとモデルを繋ぐシステム同定、データ駆動フィードバック制御器設計、モデル駆動フィードフォワード制御器設計、データとモデルを融合した学習制御といった情報層まで一気通貫での研究開発と、産学連携を通じた電流制御・位置制御・温度制御・流体制御・プラズマ制御への水平展開を行っています。
本講座では、上記のマルチドメインの展開可能な、目標値に完全追従制御を実現するための制御系設計の考え方を紹介し、その露光装置や熱処理装置、マスフローコントローラ、直流遮断器についての応用例の論文紹介をします。
特に、レシピが決まっている半導体製造装置、および、Gコード等で未来の目標値が予め定められている工作機械といった制御対象には、未来情報を活用する非因果的なフィードフォワード制御Preactuationが有効です。また、同じ動作を繰り返す制御対象には、反復学習制御が有効です。反復学習制御に対し、汎化性能を付与する最新の研究についても紹介致します。
最後に、上記制御法を実装しやすい、Rapid Control Prototyping環境を紹介し、個別の技術相談をお受けします。一部はMATLABのサンプルコードを配布します。
開催日時 |
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開催場所 | 日本テクノセンター研修室 |
カテゴリー | 電気・機械・メカトロ・設備 |
受講対象者 |
・半導体製造装置、あるいはそのコンポーネントの制御エンジニアの方 ・工作機械、あるいはそのコンポーネントの制御エンジニアの方 ・メカトロニクス機器の制御エンジニアの方 ・システム同定、制御器設計、学習制御を学びたい方 |
予備知識 |
・軽く解説はしますが、以下の事前知識があると、より理解が深まります ・ラプラス変換 ・伝達関数 ・離散フーリエ変換 ・古典制御 ・Bode線図、Nyquist線図 ・信号解析 |
修得知識 |
・電流制御・位置制御・温度制御・流体制御・プラズマ制御に通底する制御系設計哲学 ・ラプラス変換の勘所 ・周波数領域システム同定 ・フィードバック制御器設計の勘所と実践的チューニング ・反復学習制御の考え方 ・制御系の実装法 |
プログラム |
1.はじめに:制御技術と事例 2.ラプラス変換の基礎 3.周波数領域システム同定 4.フィードバック制御器設計の基礎と実践 5.フィードフォワード制御器設計の基礎と実践 6.反復学習制御の基礎と機械学習の融合 7.Rapid Control Prototyping環境の紹介 |
キーワード |
位置決め制御 流量制御 温度制御 プラズマ制御 ラプラス変換 複素正弦波 伝達関数 周波数領域システム同定 モデリング フィードバック制御器設計 ナイキスト チューニング則 追従誤差波形 反復学習制御 |
タグ | ロボット、位置決め、機械、工作機、自動車・輸送機、制御 |
受講料 |
一般 (1名):51,700円(税込)
同時複数申込の場合(1名):46,200円(税込) |
会場 |
日本テクノセンター研修室〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 新宿第一生命ビルディング(22階)- JR「新宿駅」西口から徒歩10分 - 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分 - 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分 電話番号 : 03-5322-5888 FAX : 03-5322-5666 |
営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日