～ 真空について、真空を作る技術、真空を測る技術、真空装置の構成、および真空とプラズマ技術 ～
・薄膜作成、エッチング、半導体製造工程、蒸留、乾燥などに活用される真空技術の基礎、真空装置、真空技術の応用例が修得できる講座
・真空技術のポイントを修得し、真空技術を活用した機器の開発、真空装置の効率的な活用に活かそう！
真空技術の基礎と産業応用
講師の言葉
企業で働くエンジニアの方を対象に、真空技術の基礎と産業への応用について講義します。本セミナーでは、式の使用は必要最小限にとどめ、できるだけ図や単位を用いて説明するようにします。
講義ではまず、真空の概念、真空技術に良く現れる物理量と単位、気体分子の密度と圧力といった真空に関する基礎的な内容の説明をします。次に、実務に必要な、排気速度とコンダクタンス、真空ポンプ、真空を測る技術、真空装置の構成、質量分析計、真空装置のもれ探し、といった真空装置関連の説明をします。
更に、真空装置内で起こる現象と、真空（気相）と固体表面との関係について説明します。そして最後に、真空を用いるプロセスの例として、プラズマ技術の説明をします。
セミナー詳細
| 開催日時 |
|
|---|---|
| 開催場所 | 日本テクノセンター研修室 |
| カテゴリー | 加工・接着接合・材料 |
| 受講対象者 |
・開発や製造において真空装置に携わっているユーザの方 ・真空蒸着、スパッタリングなど薄膜の作成、表面処理に関わる研究者・技術者の方 ・エッチング技術に関わる研究者・技術者の方 ・真空チャンバや排気系などを設計する技術者の方 ・半導体製造装置の研究開発に関わる方 ・半導体、LED、液晶パネルの製造工程に関わる方 ・産業界で活用される各種真空装置の研究開発に関わる方 （真空装置の開発、設計を行っている方、真空装置を扱っている方、真空技術に関し基礎的なことを学びたい方） |
| 予備知識 | ・大学教養課程（１、２年生）程度の物理の知識があれば良いですが、なくても大丈夫です。 |
| 修得知識 |
・真空技術に関する基礎知識 ・真空容器の排気、圧力測定に関する知識 ・真空装置の構成、低真空の真空装置、高真空の真空装置 ・真空中で起こる現象、真空（気相）と固体表面との関係 ・真空とプラズマに関する基礎知識 |
| プログラム |
１. 真空を利用している産業と真空の応用展開 ２. 真空について ３. 真空技術の基礎 ４. 排気速度とコンダクタンス ５. 真空ポンプ ６. 真空を測る技術 ７. 真空装置の構成 ８. 質量分析 ９. 真空装置のもれ探し：リークテスト １０. 真空中で起こる現象 １１．真空と表面の観察 １２．真空を活用したプラズマ技術の応用 |
| キーワード | 真空 排気速度 コンダクタンス 真空ポンプ 真空計 真空装置 真空と表面 プラズマ |
| タグ | 化学工学、精密加工・組み立て、表面改質 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
日本テクノセンター研修室〒 163-0722 東京都新宿区西新宿２－７－１ 新宿第一生命ビルディング（２２階）- JR「新宿駅」西口から徒歩10分 - 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分 - 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分 電話番号 : 03-5322-5888 FAX : 03-5322-5666 |
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