～ プローブ計測・発光分光計測、プラズマの生成のポイントと制御技術および薄膜形成、ＣＶＤ、プラズマエッチング、大気圧プラズマによる表面処理への応用 ～
・薄膜生成や半導体の微細加工、表面処理に応用されるプラズマ技術を修得し、実務で活用するための講座
・プラズマの性質を安定化させ、産業応用に活かすための計測、生成、制御技術をマスターしよう！
・近年、進歩が著しい「大気圧プラズマの発光分光計測」についても解説致します！
プラズマの基礎と生成・計測・制御技術のポイントおよび産業応用
講師の言葉
プラズマは物理学の研究対象であるばかりでなく、機能性薄膜生成や半導体微細加工など、現場レベルで応用されている。産業応用では、プラズマの性質の最適化が必要で、各種材料の特性を確保し生産効率を安定させ、異種装置間の処理を統一的に評価するため、計測は不可欠である。
本講演では、基礎過程の紹介から始め、次に、プラズマ計測の基本となる２種類の計測法～プローブ計測と発光分光計測を中心に講述する。測定データの正しい解釈のためには、それぞれの基礎過程に立ち返る必要がある。生成と計測に続いて、実際のプラズマ生成のための装置を、その物理的メカニズムとともに紹介することにより、制御のための基礎を理解することとする。
最後に最近のプラズマ応用から、幾つかトピックを選んで紹介する。
セミナー詳細
| 開催日時 |
|
|---|---|
| 開催場所 | 日本テクノセンター研修室 |
| カテゴリー | 加工・接着接合・材料 |
| 受講対象者 |
・エッチングやプラズマデポジションなど、プラズマプロセスを産業現場で利用する技術者、とくに初級～中級前半の技術者 ・研究機関で反応性プラズマプロセスに従事する研究者、技術者の方 |
| 予備知識 |
・電磁気学の学部レベルの知識、および入門レベルの原子物理学・量子力学に加えて、若干、物理化学や統計熱力学に秀でていれば有り難い（講義中に補足します） |
| 修得知識 |
・プロセスプラズマの電子温度・密度を一番基本的なプローブ法、発光分光法により測定できるようになる ・プロセス用のプラズマ生成装置を、その仕組みや理論がわかって運転できるようになる ・異なるプラズマ装置で発生したプラズマを比較対照して定量的に議論ができるようになる ・応用物理学会のプラズマエレクトロニクス分野、電気学会のプラズマ分野や放電分野の研究発表が理解できるようになる |
| プログラム |
１. プラズマの基礎 ２. プラズマ計測とそのポイント ３. プラズマの生成と制御のポイント ４．プラズマの産業応用 |
| キーワード | プラズマ プローブ計測 発光分光計測 プラズマ生成 薄膜 ＣＶＤ プラズマエッチング 大気圧プラズマ 表面処理 液相プラズマ |
| タグ | 化学工学、精密加工・組み立て、表面改質 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
日本テクノセンター研修室〒 163-0722 東京都新宿区西新宿２－７－１ 新宿第一生命ビルディング（２２階）- JR「新宿駅」西口から徒歩10分 - 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分 - 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分 電話番号 : 03-5322-5888 FAX : 03-5322-5666 |
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