プラズマ・大気圧プラズマ技術の基礎と産業応用

~ 容量結合・誘導結合・磁気中性線放電・電子サイクロトロン共鳴プラズマの原理と装置、および大気圧プラズマの特長と応用例 ~

・真空・大気圧プラズマについて式を使わず、図・単位・等価回路などを利用して修得できる講座
・エッヂング、材料表面プロセス、環境応用、滅菌など応用範囲が拡がるプラズマ技術を効果的に活用するためのセミナー!

講師の言葉

企業で働くエンジニアの方を対象に、プラズマ技術の基礎と産業への応用について講義します。本セミナーでは、できるだけ式は使わず、図、単位、および等価回路を用いてプラズマを表現します。
真空のプラズマに関しては、容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP)、磁気中性線放電(NLD)プラズマ、電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ等を例に挙げ、その原理と装置例について講義します。
大気圧プラズマに関しては、コロナ放電、バリヤ放電、沿面放電等の放電形式の説明をします。また、プラズマプロセシングで重要なシースについてもお話します。そしてドライエッチングに関し、エッチング速度とプラズマパラメータの関係を説明します。
さらに大気圧プラズマの応用例として、材料表面プロセス、プラズマ環境応用、プラズマ滅菌、プラズマ農業等の説明を致します。

セミナー詳細

開催日時
  • 2019年09月20日(金) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料
受講対象者 ・プラズマプロセスを産業現場で利用する技術者の方
・研究機関で反応性プラズマプロセスに従事する研究者の方
予備知識 ・大学教養課程(1、2年生)程度の物理の知識があれば理解が深まります
修得知識 ・真空のプラズマや大気圧プラズマに関するそれぞれの性質・特徴
・各種プラズマ装置のコンセプトと例
・プラズマ装置に発生するプラズマパラメータの意味
・プラズマプロセシングにおけるプラズマパラメータ
・各種プラズマの産業への応用例
プログラム

1.プラズマを利用している分野
  (1). プラズマを用いてできること
  (2). プラズマプロセシングについて

2.プラズマの基礎的性質
  (1). プラズマとは、電子密度(プラズマ密度)、電子温度
  (2). プラズマ技術の用語と単位

3.電離と解離
  (1). 電離度と解離度について:どんなプラズマができるのか
  (2). 電離、解離と電子エネルギー分布:プラズマ中の電子の役割について

4.無磁場のプラズマと磁化プラズマ
  (1). プラズマは反磁性:磁場を印加するとプラズマの性質が変わる
  (2). プラズマ周波数、衝突周波数、サイクロトロン周波数について

5.容量結合プラズマ(CCP)
  (1). CCP装置:歴史のあるプラズマ
  (2). CCP装置の等価回路

6.誘導結合プラズマ(ICP)
  (1). ICP装置:高密度プラズマの例 その1
  (2). ICP装置の等価回路

7.磁気中性線放電(NLD)プラズマ
  (1). NLDプラズマ装置:高密度プラズマの例 その2
  (2). NLDプラズマ装置の等価回路

8.電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ
  (1). ECRプラズマ装置:高密度プラズマの例 その3
  (2). プラズマ中の波動、CMA図(プラズマ中の波動の図)

9.シース
  (1). プラズマ、固体表面とシース:シースの性質と役割
  (2). RFバイアス印加とイオンエネルギーの制御:イオンエネルギーの決め方

10.プラズマ計測診断技術
  (1). ラングミュアプローブ、静電プローブ:プラズマ密度の測定方法
  (2). プラズマ装置に発生する高電圧の計測:
      a. ウエハ表面における Vpp、Vdc の計測

11.プラズマの応用例:ドライエッチング
  (1). 反応性イオンエッチング(RIE):微細加工のために
  (2). エッチング速度、イオンフラックス、イオンエネルギーの関係
  (3). スパッタエッチング(物理的エッチング)の場合のエッチング速度の計算例

12.大気圧プラズマの特長と応用例
  (1). 真空のプラズマと大気圧プラズマの違いについて
  (2). 放電形式について:コロナ放電、バリヤ放電、沿面放電など
  (3). 大気圧グロープラズマ
  (4). 大気圧プラズマの応用例
      a. 材料表面プロセス
      b. プラズマ環境応用
      c. プラズマ滅菌
      d. プラズマ農業

キーワード プラズマ 電離 解離 容量結合 誘導結合 磁気中性線放電 電子サイクロトロン共鳴 ラングミュアプローブ 静電プローブ 大気圧プラズマ
タグ プラズマ
受講料 一般 (1名):48,600円(税込)
同時複数申込の場合(1名):43,200円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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