• 2019年09月20日(金) 10:30 ~ 17:30

１．プラズマを利用している分野
　　（１）. プラズマを用いてできること
　　（２）. プラズマプロセシングについて

２．プラズマの基礎的性質
　　（１）. プラズマとは、電子密度（プラズマ密度）、電子温度
　　（２）. プラズマ技術の用語と単位

３．電離と解離
　　（１）. 電離度と解離度について：どんなプラズマができるのか
　　（２）. 電離、解離と電子エネルギー分布：プラズマ中の電子の役割について

４．無磁場のプラズマと磁化プラズマ
　　（１）. プラズマは反磁性：磁場を印加するとプラズマの性質が変わる
　　（２）. プラズマ周波数、衝突周波数、サイクロトロン周波数について

５．容量結合プラズマ（CCP）
　　（１）. CCP装置：歴史のあるプラズマ
　　（２）. CCP装置の等価回路

６．誘導結合プラズマ（ICP）
　　（１）. ICP装置：高密度プラズマの例　その1
　　（２）. ICP装置の等価回路

７．磁気中性線放電（NLD）プラズマ
　　（１）. NLDプラズマ装置：高密度プラズマの例　その２
　　（２）. NLDプラズマ装置の等価回路

８．電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマ
　　（１）. ECRプラズマ装置：高密度プラズマの例　その３
　　（２）. プラズマ中の波動、CMA図（プラズマ中の波動の図）

９．シース
　　（１）. プラズマ、固体表面とシース：シースの性質と役割
　　（２）. RFバイアス印加とイオンエネルギーの制御：イオンエネルギーの決め方

１０．プラズマ計測診断技術
　　（１）. ラングミュアプローブ、静電プローブ：プラズマ密度の測定方法
　　（２）. プラズマ装置に発生する高電圧の計測：
　　　　　　a. ウエハ表面における Vpp、Vdc の計測

１１．プラズマの応用例：ドライエッチング
　　（１）. 反応性イオンエッチング（RIE）：微細加工のために
　　（２）. エッチング速度、イオンフラックス、イオンエネルギーの関係
　　（３）. スパッタエッチング（物理的エッチング）の場合のエッチング速度の計算例

１２．大気圧プラズマの特長と応用例
　　（１）. 真空のプラズマと大気圧プラズマの違いについて
　　（２）. 放電形式について：コロナ放電、バリヤ放電、沿面放電など
　　（３）. 大気圧グロープラズマ
　　（４）. 大気圧プラズマの応用例
　　　　　　a. 材料表面プロセス
　　　　　　b. プラズマ環境応用
　　　　　　c. プラズマ滅菌
　　　　　　d. プラズマ農業

日本テクノセンター研修室