• 2019年04月04日(木) 10:30 ~ 17:30

１．真空成膜に関する基礎知識
　　（１）．薄膜とは何か　～定義、性質、機能～
　　（２）．薄膜の成長過程と真空技術の基本
　　（３）．真空蒸着法の原理
　　（４）．スパッタリング法の原理
　　（５）．化学的気相成長（ＣＶＤ）法の原理
　　（６）．薄膜の設計と評価

２．薄膜製造プロセスのトラブルの具体的事例と対策
　　（１）．薄膜の品質と物理化学的現象の関係
　　（２）．膜質を分析する　～組織観察、成分分析、結晶解析～
　　（３）．膜厚バラツキの原因と対策
　　（４）．特性不安定化の原因と対策
　　（５）．外観不良の原因と対策
　　（６）．微小欠陥の原因と対策

３．薄膜の密着性・耐久性改善のポイント
　　（１）．密着性・信頼性の評価技術
　　（２）．薄膜の密着と剥離のメカニズム
　　（３）．剥離モード解析からの原因追究
　　（４）．界面の密着強度の向上
　　（５）．膜厚と応力の最適化

４．薄膜形成のコスト低減・生産性向上について
　　（１）．薄膜工程の原価の考え方
　　（２）．材料コスト低減の方法
　　（３）．成膜装置の稼働率とメンテナンス
　　（４）．生産能力アップの方法
　　（５）．薄膜技術の生産性向上に関する最新動向

日本テクノセンター研修室