• 2019年02月18日(月) 10:30 ~ 17:30

１. プラズマの基礎
　　（１）. プラズマの微視的理解
　　　　　　a. 電場中の運動、磁場中の運動
　　　　　　b. 直交磁場中の運動〜E×Bドリフト、その他のドリフト運動
　　（２）. 荷電粒子と原子分子との衝突
　　　　　　a. 衝突断面積、断面積の特徴、原子・分子の電離と励起
　　　　　　b. 平均自由行程と衝突周波数
　　　　　　c. 衝突前後の運動量変化とエネルギー変化
　　（３）. プラズマの巨視的理解
　　　　　　a. ボルツマン方程式と流体モデルによる基礎方程式
　　　　　　b. 電気的中性条件とプラズマ振動
　　　　　　c. 密度分布と流れ、拡散
　　　　　　d. シース〜プラズマと固体との界面

２. プラズマ計測
　　（１）. プローブ計測
　　　　　　a. シングルプローブ法、およびダブルプローブ法
　　　　　　b. プロセスプラズマ特有の諸問題への対応策
　　（２）. 発光分光計測
　　　　　　a. 発光分光法によるプラズマの電子温度・電子密度の診断
　　　　　　b. 衝突輻射モデルによる線スペクトルデータの解釈
　　　　　　c. アクチノメトリー法によるラジカル密度の診断
　　　　　　d. 発光分光法による分子性プラズマの振動温度・回転温度の測定
　　（３）. その他の先進的計測の概説

３. プラズマの生成と制御
　　（１）. 放電気圧、周波数と放電形式、プラズマの発生と維持
　　（２）. 非平衡プラズマと平衡プラズマ
　　　　　　a. 直流放電による低温プラズマと熱プラズマ
　　　　　　b. 各種温度の圧力依存性
　　　　　　c. 大気圧非平衡プラズマ
　　　　　　d. 容量結合プラズマ
　　　　　　e. 誘導結合プラズマ
　　　　　　f. マイクロ波による表面波・体積波プラズマ

４. プラズマの産業応用
　　（１）. プラズマによる薄膜形成、CVD
　　（２）. 最近のプラズマエッチングの開発トピック～単原子層の処理、ALEとALD
　　（３）. 大気圧プラズマによる表面処理
　　（４）. 新たな応用～液相プラズマによる有機物処理処分、生物・医療応用
　　（５）. 新たな計測
　　　　　　・大気圧プラズマの発光分光計測～連続スペクトル計測による電子温度測定

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