真空技術の基礎と活用ポイント

〜 真空技術の基礎、真空ポンプ、リークテスト・デテクタ、ガス放出 〜

  • 適切な真空状態の作り方、維持、活用について基礎から解説する講座!
  • 真空の基本的な原理から真空ポンプの活用、計測・漏れ検査について学び、適切な真空状態での製膜・加工・ものづくりに活かそう!

講師の言葉

 我々が通常暮らしている大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間の状態を真空と呼びます。その真空は、産業のあらゆる分野で使われています。真空と一言で言っても、使われる原理が幅広く、いろいろな技術に用いられています。

 本セミナーでは、真空とはどのような状態であるかを知るために、真空の定義やメリット、物質移動の基礎について学びます。後半は、真空の作り方や真空のはかり方を中心に漏れ検査や真空材料について学んでいきます。これらを通して真空を用いてものつくりを行う基礎を身につけます。

セミナー詳細

開催日時
  • 2017年11月08日(水) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料化学・環境・異物対策
受講対象者 ・機械、自動車、電子部品、半導体、建設、光学、薬品、食品、金属材料等で真空に関わる技術者の方、これから真空を扱う技術者の方
予備知識 ・高卒程度の知識(化学、物理、数学)
修得知識 ・真空技術の基礎知識 ・真空ポンプ、真空計の基礎と選定方法 ・真空装置を運転するための基礎的な知識 ・真空の活用ポイント(ポンプ、計測、リークテスト)
プログラム

1.真空の基礎

  (1).単位と単位換算

  (2).真空の定義

  (3).気体の状態方程式

  (4).平均自由工程

  (5).ガス種の物性値

  (6).真空のメリット

2.真空ポンプ

  (1).真空ポンプとは

  (2).真空ポンプの性能に関する用語

  (3).真空ポンプの種類

    a.油回転ポンプ

    b.メカニカル・ブースタ・ポンプ

    c.ドライポンプ

    d.ターボ分子ポンプ

    e.油拡散ポンプ

    f.クライオポンプ

    g.スパッタイオンポンプ

  (4).真空ポンプの構成

  (5).コンダクタンス

3.真空計測

  (1).全圧計

    a.隔膜真空計

    b.熱伝導真空計

    c.スピニングロータ真空計

    d.熱陰極電離真空計

  (2).分圧計

  (3).圧力を測る注意点

  (4).漏れ検査 リークテストの基礎

    a.漏れについて

    b.漏れ検査の分類

    c.ヘリウム・リーク・デテクタの原理

    d.ヘリウム・リーク・デテクタの基本手法

    e.失敗しないための注意点

4.ガス放出と真空材料

  (1).ガス放出

  (2).排気の実際

  (3).真空材料

  (4).フランジ

  (5).軸シール

キーワード 気体の状態方程式 平均自由工程 真空ポンプ コンダクタンス 全圧計 分圧計 リーク・デテクタ
タグ 食品熱処理薄膜
受講料 一般 (1名):48,600円(税込)
同時複数申込の場合(1名):43,200円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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