磁気センサの基礎と高感度化および最新応用技術

講師の言葉

　磁気センサは従来半導体ホール素子が広く用いられ、その応用機器として、各種ロータリーエンコーダーや位置検出および磁束計測（ガウスメーター）がある。近年は、磁性体材料（強磁性体など）を用いた新しいセンサ素子の開発が盛んであり、例えば巨大磁気抵抗素子は、ＨＤＤの読みと用として用いられている。また、車載分野の磁気センサの応用としてＨＶ／ＥＶで競争が激化しているレゾルバと電流センサがある。電流センサにも巨大磁気抵抗素子は用いられている。
　民生用ではナビやモバイル機器で電子コンパスの搭載が進みスマートフォンでは標準搭載されている。電子コンパスと加速度センサなどを組み合わせた９軸モーションセンサも開発されており、スマートウォッチのジェスチャー認知、歩数計、方位計、傾斜方向検知の応用が可能となっている。バーチャルリアリティ用の３次元位置センサも磁気式のセンサが開発されている。
　医療分野では、超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）による、心磁計や脳磁計を常温で動作する超高感度磁気センサで実現する試みがある。また、ＭＲＩなどのセキュリティー用として、磁気センサ方式の金属検知器が実用化されている。
　本講では、ホール素子ＩＣ、磁気抵抗素子（ＡＭＲ/GMR）、磁気インピーダンス素子（ＭＩ）などを用いた磁気センサの基礎と高感度化および最新動向について解説する。

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