• 2017年03月29日(水) 10:30 ～ 17:30

第一部　薄膜の力学的特性と密着性向上技術

１． 最近の金属窒化物製膜技術に関する話題
　　（１). 製膜技術、製膜条件と膜質の制御
　　（２). 大電力スパッタリング技術（HiPMS）とTiN膜の改善

２． 薄膜の力学特性（基礎編）
　　（１). 応力とひずみの関係
　　（２). 熱応力と真性応力：材料による内部応力の違い
　　（３). 測定方法：基板変形，格子定数の測定（粉末法、薄膜X線法）
　　（４). 内部応力と結晶配向性の制御
　　（５). 超微小硬さ測定〜構造欠陥と硬さ
　　（６). 硬さと耐腐食性：硬質（ハードコーティング）膜への応用

３． 薄膜の密着性とその向上（応用・実務編）
　　（１). 定義（力学物性、損傷、耐久性・寿命）
　　（２). 各種の密着性測定方法
　　　　　　a. ピール・テストと定量化
　　　　　　b. スクラッチ・テスト／カット・テスト
　　　　　　c. プル・テスト、インデンテーション（押し込みテスト）
　　（３). 故障解析からの密着性評価
　　（４). 内部応力と密着性（異種材料界面の力学）
　　（５). 製膜技術と密着性の向上〜特にプラズマ援用技術

４． 振動式マイクロスクラッチ試験
　　（１). 密着性（臨界荷重、せん断応力、界面エネルギー）
　　（２). 試験条件および再現性と信頼性
　　（３). スクラッチの物理と破壊力学：刺激強度分布の荷重による変化
　　（４). 光学薄膜の密着性の試験方法による結果の違い JIS R４２５５
　　（５). 軟質膜および粘性膜への応用

第二部　薄膜における密着性試験とその応用事例

１．薄膜の密着性試験
　　（１）. 試験方法の一覧、スクラッチ試験との比較
　　（２）. スクラッチ試験の応用事例　その?（自動車関連分野）
　　（３）. スクラッチ試験の応用事例　その?（バイオ材料分野）
　　（４）. スクラッチ試験の応用事例　その?（半導体・エレクトロニクス分野）

２. 薄膜の硬さ・弾性特性、ナノインデンテーション試験
　　（１）. 測定原理
　　（２）. 測定規格について

　　（３）. ナノインデンテーションの応用事例、その１　（硬質膜）
　　（４）. ナノインデンテーションの応用事例、その２　（ポリマー、ソフトマター）

３. 薄膜のトライボロジー特性
　　（１）. 測定原理、測定方法
　　（２）. 測定規格について、測定方法の比較
　　（３）. 摩擦摩耗試験の応用事例　その?（硬質膜）
　　（４）. 摩擦摩耗試験の応用事例　その?　（ポリマー、ソフトマター）

日本テクノセンター研修室