プラズマの基礎と計測・制御および表面処理技術への応用および実務上のノウハウと注意点

〜 プラズマの生成と制御および薄膜の堆積・最近の表面処理技術および実務上のノウハウと注意点 〜

プラズマを活かした表面処理技術について、研究の最前線で活躍する講師陣が解説する講座

・プラズマの性質の最適化により、製品に高機能を付与した表面処理技術を施すための技術が学べるセミナー!

講師の言葉

第一部

 プラズマは物理学の基礎研究対象であるばかりでなく、機能性薄膜の生成や半導体微細加工など、いまや各種産業に現場レベルで応用されている。産業応用では、目的に応じたプラズマの性質の最適化が必要で、従ってプラズマ生成と計測制御の基礎的理解が必須となる。
 各種材料の特性を確保し生産効率を安定させ、 異種装置間の処理を統一的に評価するために、計測は不可欠である。
 本講演では、放電プラズマ生成に関する基礎過程の紹介から始め、次に、プラ ズマ計測の基本となる2種類の計測法〜プローブ計測と発光分光計測〜を中心に講述する。これらは何れも安価なツールで容易に計測が実施できるが、測定デー タの正しい解釈のためには、それぞれの現象の基礎物理学・化学過程に立ち返る 必要がある。生成と計測に続いて、実際のプラズマ生成のための装置を、その物 理的メカニズムとともに紹介することにより、制御のための基礎を理解することとする。

第二部

 プラズマを利用した表面処理技術は、金属、半導体、セラミックス、高分子など、さまざまな材料表面に対して応用されている。主要なプラズマ表面処理技術は、主に光学分野や半導体製造分野において飛躍的に発展してきたが、その技術は他の分野にも広く適用され、多くの工業製品の製造工程において、必要不可欠かつ継続的な発展が必要な技術と認識されている。
 本講演では、プラズマ表面処理技術の大きな2本の柱である、薄膜堆積技術と表面改質技術について、それぞれ原理と特徴、さらに実運用上のノウハウや注意点も交えながら解説する。また、近年開発された大気圧プラズマ、液中プラズマの技術を紹介するとともに、医療・農業分野など、これまでプラズマ技術が利用されていなかった分野への技術展開についても述べる。

セミナー詳細

開催日時
  • 2017年03月06日(月) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料
受講対象者 ・プラズマプロセスを産業現場で利用する技術者、とくに初級から中級前半の技術者 ・これからプラズマ表面処理に携わる初学者の方
予備知識 ・特に必要ございませんが、電気電子工学・プラズマ工学の学部レベルの知識に加えて、若干ではあるが物理化学や統計熱力学の知識があれば理解が深まります
修得知識 ・プロセスプラズマの電子温度・密度を一番基本的なプローブ法、発光分光法により測定できるようになる ・プロセス用のプラズマ生成装置を、その仕組みや理論がわかって運転できるようになる ・プラズマ表面処理技術の原理と特徴,実運用上のノウハウや注意点 ・近年開発された大気圧プラズマ、液中プラズマ技術の概要
プログラム

第一部 プラズマの基礎と計測・制御技術

1. プラズマの基礎
  (1). プラズマの微視的理解
  (2). 荷電粒子と原子分子との衝突
  (3). プラズマの巨視的理解

2.プラズマ計測
  (1). プローブ計測
  (2). 発光分光計測

3.プラズマの生成と制御
  (1). 放電気圧、周波数と放電形式、プラズマの発生と維持
  (2). 非平衡プラズマと平衡プラズマ

第二部 プラズマによる表面処理技術の基礎と応用展開

1. 薄膜堆積技術の基礎
  (1). イオンプレーティング法
  (2). スパッタリング法
  (3). プラズマCVD法
  (4). プラズマ薄膜堆積プロセスのポイント

2. 表面改質技術の基礎
  (1). 表面の物理的特性(性状、硬さ)制御
  (2). 表面の化学的特性(濡れ、吸着)制御

3. 最近のプラズマ表面処理技術
  (1). 大気圧プラズマ
  (2). 液中プラズマ
  (3). 他分野への展開

キーワード プローブ計測 発光分光計測 非平衡プラズマ イオンプレーティング スパッタリング プラズマCVD プラズマ薄膜堆積 大気圧プラズマ 液中プラズマ
タグ プラズマ表面改質表面処理・めっき
受講料 一般 (1名):48,600円(税込)
同時複数申込の場合(1名):43,200円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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