プラズマの基礎と計測・制御および表面処理技術への応用および実務上のノウハウと注意点

講師の言葉

第一部

　プラズマは物理学の基礎研究対象であるばかりでなく、機能性薄膜の生成や半導体微細加工など、いまや各種産業に現場レベルで応用されている。産業応用では、目的に応じたプラズマの性質の最適化が必要で、従ってプラズマ生成と計測制御の基礎的理解が必須となる。
　各種材料の特性を確保し生産効率を安定させ、 異種装置間の処理を統一的に評価するために、計測は不可欠である。
　本講演では、放電プラズマ生成に関する基礎過程の紹介から始め、次に、プラ ズマ計測の基本となる２種類の計測法〜プローブ計測と発光分光計測〜を中心に講述する。これらは何れも安価なツールで容易に計測が実施できるが、測定デー タの正しい解釈のためには、それぞれの現象の基礎物理学・化学過程に立ち返る 必要がある。生成と計測に続いて、実際のプラズマ生成のための装置を、その物 理的メカニズムとともに紹介することにより、制御のための基礎を理解することとする。

第二部

　プラズマを利用した表面処理技術は、金属、半導体、セラミックス、高分子など、さまざまな材料表面に対して応用されている。主要なプラズマ表面処理技術は、主に光学分野や半導体製造分野において飛躍的に発展してきたが、その技術は他の分野にも広く適用され、多くの工業製品の製造工程において、必要不可欠かつ継続的な発展が必要な技術と認識されている。
　本講演では、プラズマ表面処理技術の大きな２本の柱である、薄膜堆積技術と表面改質技術について、それぞれ原理と特徴、さらに実運用上のノウハウや注意点も交えながら解説する。また、近年開発された大気圧プラズマ、液中プラズマの技術を紹介するとともに、医療・農業分野など、これまでプラズマ技術が利用されていなかった分野への技術展開についても述べる。

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