〜 薄膜の内部応力発生メカニズム、膜応力・密着力の測り方と注意点、密着不良によるトラブル防止策 〜
- 図や写真を用いて、現役エンジニアの講師の方が具体的に分かりやすく解説する講座！
- 薄膜内部応力の原理や低減法、薄膜密着力の測定について学び、適切な密着性評価や剥離防止に活かそう！
薄膜の内部応力・密着性改善・評価法の基礎と剥離トラブル防止策
講師の言葉
本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、薄膜の内部応力や密着力を理解し、制御するために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルが生じた場合にどのように対処するかを直感的にわかりやすく解説します。
初学者、中堅技術者で薄膜の内部応力と密着性に関してその本質を基本から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで応力や密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。
セミナー詳細
| 開催日時 |
|
|---|---|
| 開催場所 | 日本テクノセンター研修室 |
| カテゴリー | 電気・機械・メカトロ・設備 |
| 受講対象者 | ・薄膜の内部応力制御や密着性向上策について基礎から修得したい方 ・新規技術開発や製品製造で薄膜の内部応力や剥離に関わる課題を抱えられている方 ・各種電子・光学デバイス（自動車部材、電池、照明、ディスプレイ）、コーティング、塗膜などに携わる方 |
| 予備知識 | ・薄膜に関わる技術者の方であれば特に必要ありません |
| 修得知識 | ・薄膜の内部応力や密着性に関する基本的知識 ・薄膜の内部応力や密着力測定技術の概要、測定上の具体的な注意点、適用上の限界 ・薄膜の内部応力の制御や密着力改善手法に対する系統的な理解 ・剥離トラブルへの具体的な対応方法 |
| プログラム |
１． 薄膜の内部応力とは：内部応力の理解と制御のために必要な基礎知識
(1). 薄膜の内部応力とは何か
(2). 内部応力の発生メカニズム
(3). 知っておくべき内部応力の性質：パターニングされた膜、多層膜における内部応力
(4). 内部応力を低減する方法
２． 剥離と薄膜の内部応力の関係：応力を低減すれば剥離は防げるのか
(1). 表面・界面エネルギーおよび剥離仕事とは：密着力の本質
(2). 実際の薄膜／基板界面の構造
(3). 密着と粘着・接着との違い
(4). なぜ剥離が生じるのか：様々な剥離トラブルの形態観察から密着性不良を起こした要因を読み取る方法
(5). 薄膜の剥離・密着力を理解し、改善に繋がる効果的な考え方
(6). 密着性改善の具体的な方法
３． 薄膜の応力・密着力の測定：どの方法を選べば良いのか？どこまで測定値は信頼できるか？
(1). 膜応力の具体的な測り方とポイント
a. Ｘ線回折法
b. ラマン分光法
c. 基板曲率法
d. 最近の新しい膜応力の評価方法
(2). 密着力の具体的な測り方とポイント
a. テープテスト
b. ３点曲げテスト
c. スクラッチテスト
４． 剥離対策：なぜ密着性が悪いかを調べ、対策を立てる具体的手順
(1). 剥離領域の解析手順と具体的な材料評価のやり方
(2). 密着不良の原因解析と密着力改善の一連のプロセスの具体例 |
| キーワード | 薄膜 密着力 内部応力 剥離 密着性改善 密着力評価法 密着性不良 パターニング 多層膜 |
| タグ | ディスプレイ、プリント基板、薄膜 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
日本テクノセンター研修室〒 163-0722 東京都新宿区西新宿２－７－１ 新宿第一生命ビルディング（２２階）- JR「新宿駅」西口から徒歩10分 - 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分 - 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分 電話番号 : 03-5322-5888 FAX : 03-5322-5666 |
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