• 2016年09月21日(水) 10:30 ～ 17:30

１． 真空の概要
　　(1). 「真」の「空」と書くが実はそうではない
　　　　a. 真空の中には沢山の気体分子が存在している
　　(2). 真空の度合いはその中にある気体分子の数で示す
　　(3). 真空の度合いを示す単位
　　(4). 真空のレベルの呼び方
　　(5). 大気圧の状態→気体分子の一部をとりだし→真空の世界へ
　　(6). 真空を使った産業機械の市場

２． 真空を使った産業機械・応用機器
　　〜真空のどのような性質が応用されているか〜
　　(1). 真空にあると差圧が発生
　　　　a. 差圧を利用した機器
　　(2). 真空中では水が室温で蒸発
　　　　a. 凍結乾燥の原理
　　(3). 真空中では物体の中のガス成分が抜ける
　　(4). 粒子が空間を自由に動く
　　　　a. 真空蒸着
　　　　b. 電子を動かす
　　(5). イオンと電子が自由に動けるのでプラズマができる
　　　　a. プラズマの応用機器

３． 真空ポンプの排気原理：真空をつくる
　　(1). バケツで水を汲みだすように、ある容積を大気側で取り出す
　　　　a. ダイアフラムポンプ
　　　　b. 油回転ポンプ
　　　　c. ルーツ型ドライポンプ、
　　(2). 気体分子をある方向へ動かし圧縮する
　　　　a. ターボ分子ポンプ
　　(3). 気体分子を冷たい面に付着させ、氷として固定する
　　　　a. クライオポンプ
　　(4). 気体分子を化学反応で捕まえる
　　　　a. スパッターイオンポンプ
　　　　b. チタンサブリメーションポンプ
　　(5). 使用上の注意事項（真空ポンプの説明時に合わせて述べる）

４． 真空レベルを測る
　　(1). 気体分子が壁を押す力を測る
　　　　a. ダイアフラム真空計
　　(2). 気体分子が運ぶ熱量を測定する
　　　　a. 熱伝導真空計
　　(3). 真空中で運動している物体に気体分子が与える抵抗力を測る
　　　　a. スピニングローター真空計
　　(4). 気体分子の数を数える
　　　　a. 電離真空計
　　　　b. 残留ガス分析計
　　(5). 使用上の注意事項（真空計の説明時に合わせて述べる）

５． 真空ポンプで排気した真空容器をどのようにして気密を保つか
　　(1). 気密シールの方法
　　(2). 真空フランジ
　　(3). 軸シール

６． 気密テストと漏れ探し
　　(1). リークテスト

日本テクノセンター研修室