〜 薄膜の測定・内部応力・製膜とスクラッチ試験の適切な実施方法 〜
・製膜密着性の適切な実施・解析を行い、密着性向上を実現させるための特別講座
・製膜の評価・測定・密着性の向上法をマスターし、製品の高機能・高信頼性・長寿命化を実現しよう！
薄膜の力学的特性と密着性向上技術
講師の言葉
乾式製膜（スパッタリング、イオン・プレーティングなどの物理製膜：PVD）した膜の密着性の評価法に関して、その適切な実施方法と解析技術を解説します。
密着性を力学的な耐久性と定義しても、基本的に破壊試験であり、刺激の与え方によって結果が全く異なってきます。適切な試験方法や条件を選ぶ必要のあること、一方で膜の構造、とくに内部応力や硬さが耐久性に与える効果が一筋縄ではないことを解説します。
概論から応用例までをカバーしますが、PVD膜の製造や測定に関して多少の問題意識を持たれた方、とくにスクラッチ試験の関心のある方に役立つと思います。
セミナー詳細
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| カテゴリー | 加工・接着接合・材料、化学・環境・異物対策 |
| 受講対象者 | ・自動車をはじめとした輸送機器、機械、プラント、電子機器、各種工具などにおける研究開発、設計技術、信頼性評価部門の方で表面改質および評価法に関心にある方 ・薄膜の研究開発技術、品質管理に関わる方 |
| 予備知識 | ・薄膜に関心があると理解が深まります |
| 修得知識 | ・薄膜の力学特性 ・薄膜の故障解析からの密着性評価・統計と剥離を防止する製膜技術 ・薄膜の内部応力と密着性向上技術 ・スクラッチ試験、振動式マイクロスクラッチ試験の基礎と進め方 |
| プログラム |
１． 最近の金属窒化物製膜技術に関する話題 ２． 薄膜の力学特性（基礎編） ３． 薄膜の密着性（応用・実務編） ４． スクラッチ試験・振動式マイクロスクラッチ試験 |
| キーワード | 金属窒化物 製膜 製膜条件 膜質 スパッタリング TiN膜 薄膜 熱応力 真性応力 基板変形 格子定数 粉末法 薄膜X線 内部応力 結晶配向性 微小硬さ測定 構造欠陥と 耐腐 Peel test Tape test Pull Topple test Indentation Scratch 故障解析 密着性評価 統計 内部応力 密着性 異種材料界面 スクラッチ試験 光学薄膜 JIS R4255 軟質膜 粘性膜 |
| タグ | 薄膜 |
| 受講料 |
一般 (1名)：49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名)：44,000円(税込) |
| 会場 |
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