• 2015年10月15日(木) 10:30 ～ 17:30

1．超短パルスレーザ加工の原理と特長
　　（１）．超短パルスレーザとは
　　（２）．原理と特長
　　　　　a．非熱加工
　　　　　b ．非線形吸収と透明材料との相互作用
　　　　　c．内部加工
　　　　　d．加工解像度の改善

２．精密微細加工
　　（１） ．金属・半導体加工
　　（２） ．ガラス・生体試料・ポリマー加工

３．表面マイクロ・ナノ構造化
　　（１）．表面ナノ周期構造の形成と応用
　　（２）．表面マイクロスパイク周期構造の形成とその特性

４．ナノアブレーション
　　（１）．非熱加工・非線形吸収を利用したナノ加工
　　（２）．特異的ナノ構造の形成
　　（３）．近接場光を利用したナノ加工
　　（４）．Far-fieldによるサブ50nm加工

５．２光子造形
　　（１）．原理と解像度
　　（２）．材料の高機能化
　　（３）．２光子光造形の応用
　　　　　a．フォトニックデバイス
　　　　　b．マイクロ・ナノマシーン
　　　　　c．バイオチップ
　　　　　d．医療・バイオ分野応用マイクロデバイス
　　（４）．３次元マイクロ金属構造の作製（２光子光還元）

６．透明材料内部３次元加工
　　（１）．内部改質の種類
　　（２）．屈折率制御によるフォトニックデバイスの作製
　　（３）．バイオチップの作製
　　　　　a．超短パルスレーザ支援ウェットエッチング
　　　　　b．水中アブレーション
　　　　　c．バイオチップの応用

７．除去/付加複合超短パルスレーザ加工
　　（１）．２光子造形+ナノアブレーション
　　（２）．次元ガラス加工+２光子造形

８． マイクロ接合
　　（１）．原理と特長
　　（２）．各種材料に対する接合
　　（３）．接合の高度化

９．ビーム整形技術
　　（１） ．空間的ビーム整形
　　　　a．多点一括加工
　　　　b ．ベッセルビームによる超高アスペクト比加工
　　（２） ．時間的ビーム整形・パルス整形
　　　　a．パルス列制御による高品質・高解像度加工
　　　　b．バーストモード加工
　　（３）．時空間ビーム整形
　 　　　　・３次元等方的解像度の実現

１０．実用化技術・産業応用
　　（１）．エレクトロニクス分野への応用
　　（２）．自動車・鉄道産業への応用
　　（３）．医療分野への応用

１１．まとめおよび今後の展望

日本テクノセンター研修室