薄膜の基礎と付着性・密着性改善および剥離トラブルへの応用

〜薄膜の基本的性質と評価計測法、付着性・密着性の本質、信頼性・耐久性向上と剥離トラブル対策〜

  • 薄膜特性の基礎、付着・密着性の本質を学び、信頼性・耐久性向上やトラブル対策に活かすための講座
  • 薄膜の基礎や付着・密着におけるトラブル対策を修得し、薄膜技術の高品化や高機能化に役立てよう!

    日頃のトラブル相談、研究開発相談に応じます

講師の言葉

 薄膜技術の高品化および高機能化は、生産効率の向上やコスト削減には不可欠な課題である。しかし、プロセス技術の基礎である付着性・密着性の制御技術は、十分に理解されているとは言い難い。
 本講座では、講師の10年間の企業経験および大学研究に基づいた講習を通じて、薄膜特性の基礎を学習するとともに、付着・密着性の本質を理解することを目的としている。また、高品位化・高速化を考察することにより、薄膜の付着・密着性におけるトラブルを解決する能力を養う。さらに、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例を交えて解説する。
 セミナーで紹介するデータの殆どは講師の研究室で取得したものであり、データの取得方法や解析ノウハウを含めて紹介する。本講座を通じて、初心者にも分かりやすく、基礎から学んでいただけます。また、受講者が抱えている日々のトラブル相談にも応じます。

セミナー詳細

開催日時
  • 2015年06月12日(金) 10:30 ~ 17:30
開催場所
カテゴリー 加工・接着接合・材料化学・環境・異物対策
受講対象者 ・薄膜、コーティング、電子産業分野で薄膜技術および付着・密着分野に従事する技術者 ・これから上記分野に初めて取り組むこととなる技術者
予備知識 ・基礎工学一般、基礎物理の知識があれば理解が深まります
修得知識 ・日々のトラブル対策について、原因を追究しながら解決策を求めるアプローチ方法が身につきます
プログラム

1.薄膜の基本的性質
 (1).作製方法
   a.金属膜(蒸着、スパッタ、メッキ、ナノ粒子ペーストなど)
   b.無機薄膜(スパッタ、酸化法、キャスト法など)
   c.有機薄膜(スピンキャスト法、CVD法など)
 (2).薄膜成長の基礎
   a.核生成理論(VWBD理論)
   b.膜の凝集性(結合力と表面粗さ)
   c.凹凸部へのデポ(突起および溝内への堆積)
 (3).基板表面処理
   a.洗浄と汚染(有機汚染と酸化膜成長) 
   b.疎水化と親水化(酸素プラズマ処理とシランカップリング処理)

2.薄膜の評価計測法
 
(1).膜厚および表面粗さ測定(表面粗さ計、光学測定、エリプソメータなど)
 (2).構造解析(X線回折、XPS,FT−IR、X線CTなど)
 (3).付着性測定(スクラッチング法、引張試験法、DPAT法)
 (4).応力および凝集力測定(ひずみゲージ、インデント法、屈折率法)
 (5).光学特性測定(光多重干渉、屈折率、吸収係数計測) 
 (6).電気特性(電気伝導性、誘電性、帯電性)

3.付着性と密着性の基礎と改善
 
(1).付着性と密着性の差(逆の特性を示す)
 (2).促進要因(相互作用、表面エネルギー)
 (3).阻害要因(応力ミスマッチ、凝集性低下)
 (4).密着現象(界面への液体浸入) 
 (5).付着現象(界面剥離) 
 (6).浸透性(溶液浸透と塗膜膨潤)

4.剥離トラブル対策
 
(1).多層膜の剥離(金属・誘電体膜、応力マッチング)
 (2).多層膜へのクラック発生(キャスト無機膜、溶剤蒸発)
 (3).ピンホール(塗工膜、濡れ不良)
 (4).ポッピング、ブリスター(溶剤気化、膨れ)
 (5).クラック、クレイズ(表面硬化層、環境応力亀裂)
 (6).フィルム剥離(膜残り、テープ剥離)

5.薄膜の信頼性と耐久性
 
(1).活性化エネルギー(劣化の進展)
 (2).サンプリング方法(統計処理の基礎)
 (3).故障曲線(バスタブ曲線)
 (4).寿命試験(加速試験、寿命決定)

6.質疑応答
 
(日頃のトラブル相談、研究開発相談に応じます)

キーワード 薄膜 金属膜 無機・有機薄膜 VWBD理論 X線回折 XPS FT−IR 多層膜 クラック発生  ピンホール ポッピング ブリスター フィルム剥離 
タグ 界面活性剤化学高分子材料薄膜
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
こちらのセミナーは受付を終了しました。
次回開催のお知らせや、類似セミナーに関する情報を希望される方は、以下よりお問合せ下さい。
contact us contact us
各種お問い合わせは、お電話でも受け付けております。
03-5322-5888

営業時間 月~金:9:00~17:00 / 定休日:土日・祝日