• 2015年06月12日(金) 10:30 ～ 17:30

１.薄膜の基本的性質
　（１).作製方法
　　　a.金属膜（蒸着、スパッタ、メッキ、ナノ粒子ペーストなど）
　　　b.無機薄膜（スパッタ、酸化法、キャスト法など）
　　　c.有機薄膜（スピンキャスト法、ＣＶＤ法など）
　（２).薄膜成長の基礎
　　　a.核生成理論（ＶＷＢＤ理論）
　　　b.膜の凝集性（結合力と表面粗さ）
　　　c.凹凸部へのデポ（突起および溝内への堆積）
　（３).基板表面処理
　　　a.洗浄と汚染（有機汚染と酸化膜成長）　
　　　b.疎水化と親水化（酸素プラズマ処理とシランカップリング処理）

２.薄膜の評価計測法
　（１).膜厚および表面粗さ測定（表面粗さ計、光学測定、エリプソメータなど）
　（２).構造解析（Ｘ線回折、ＸＰＳ，ＦＴ−ＩＲ、Ｘ線ＣＴなど）
　（３).付着性測定（スクラッチング法、引張試験法、ＤＰＡＴ法）
　（４).応力および凝集力測定（ひずみゲージ、インデント法、屈折率法）
　（５).光学特性測定（光多重干渉、屈折率、吸収係数計測）　
　（６).電気特性（電気伝導性、誘電性、帯電性）

３.付着性と密着性の基礎と改善
　（１).付着性と密着性の差（逆の特性を示す）
　（２).促進要因（相互作用、表面エネルギー）
　（３).阻害要因（応力ミスマッチ、凝集性低下）
　（４).密着現象（界面への液体浸入）　
　（５).付着現象（界面剥離）　
　（６).浸透性（溶液浸透と塗膜膨潤）

４.剥離トラブル対策
　（１).多層膜の剥離（金属・誘電体膜、応力マッチング）
　（２).多層膜へのクラック発生（キャスト無機膜、溶剤蒸発）
　（３).ピンホール（塗工膜、濡れ不良）
　（４).ポッピング、ブリスター（溶剤気化、膨れ）
　（５).クラック、クレイズ（表面硬化層、環境応力亀裂）
　（６).フィルム剥離（膜残り、テープ剥離）

５.薄膜の信頼性と耐久性
　（１).活性化エネルギー（劣化の進展）
　（２).サンプリング方法（統計処理の基礎）
　（３).故障曲線（バスタブ曲線）
　（４).寿命試験（加速試験、寿命決定）

６.質疑応答
　（日頃のトラブル相談、研究開発相談に応じます）