• 2015年09月29日(火) 10:30 ～ 17:30

１． 真空技術入門
　　〜真空について図を交えて解説〜
　　(1). 真空の世界
　　(2). 真空中の気体分子の運動
　　　　a. 理想気体
　　　　b. マクスウェルの速度分布
　　　　c. 平均自由行程
　　　　d. 入射頻度　　
　　(3). コンダクタンスと気体の流れ
　　(4). オリフィスコンダクタンスと体積表示とポンプの排気速度の表示
　　(5). 気体分子の流れ（粘性流と分子流）と導管のコンダクタンス
　　(6). 気体分子が運ぶ物理量
　　(7). ガス放出と真空排気
　　(8). 真空の壁の表面で起こっていること
　　(9). 気体分子の吸着と脱離
　　(10). 脱離エネルギーと排気時間（ベーキング効果）
　　(11). 真空用材料（金属・非金属）

２． 真空ポンプ
※真空ポンプの分類と排気系内の圧力分布について説明後、下記のポンプにつき、各々、動作原理、特徴、主な用途、長所・短所、注意事項を解説する。化学吸着型ポンプについては時間の都合上、講義は割愛するが、個別質問・相談は歓迎
　　(1). 真空ポンプの分類と排気系内の圧力分布
　　(2). 容積移送型ポンプ
　　(3). 運動量授与型ポンプ
　　(4). 物理吸着型ポンプ
　　(5). 化学吸着型ポンプ（資料配布）

３． 圧力測定（真空計）
　　(1). 日本の真空度標準
　　(2). 圧力を測定する
　　(3). 気体分子による熱の移動量を測定する
　　(4). 気体分子による粘性を測定する
　　(5). 気体分子の数を測定する（イオン化して電流として測定）
　　(6). 分圧計

４． 気密シール
※真空にした容器の気密を保つための技術
　　(1). 接合技術
　　(2). 真空フランジ
　　(3). 軸シール

５． リークテスト
　　(1). 許容リーク量
　　　・リークはどこまで許されるか
　　(2). リークの有無の判断法
　　(3). リークの場所の判断法
　　(4). リークデテクタ
　　(5). 実際のリークテストとリークテストの勘所

日本テクノセンター研修室