プラズマの基礎と計測・制御技術およびその応用

〜プラズマの生成、プローブ計測と発光分光計測、薄膜形成・表面処理、産業への応用〜

・プラズマ研究に関わる講師が、生成のメカニズムからわかりやすく解説する講座

・目的に応じたプラズマ性質の最適化や計測技術をマスターし、実務で活用するための特別セミナー!

講師の言葉

 プラズマは物理学の基礎研究対象であるばかりでなく、機能性薄膜の生成や半導体微細加工など、いまや各種産業に現場レベルで応用されている。
 産業応用では、目的に応じたプラズマの性質の最適化が必要で、従ってプラズマ生成と計測制御の基礎的理解が必須となる。各種材料の特性を確保し生産効率を安定させ、異種装置間の処理を統一的に評価するために、計測は不可欠である。
 本講演では、放電プラズマ生成に関する基礎過程の紹介から始め、次に、プラズマ計測の基本となる2種類の計測法〜プローブ計測と発光分光計測〜を中心に講述する。
 これらは何れも安価なツールで容易に計測が実施できるが、測定データの正しい解釈のためには、それぞれの現象の基礎物理学・化学過程に立ち返る必要がある。
 生成と計測に続いて、実際のプラズマ生成のための装置を、その物理的メカニズムとともに紹介することにより、制御のための基礎を理解することとする。最後に最近のプラズマ応用から、幾つかトピックを選んで紹介したい。

セミナー詳細

開催日時
  • 2015年05月15日(金) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 化学・環境・異物対策
受講対象者 ・エッチングやプラズマデポジションなど、プラズマプロセスを産業現場で利用する技術者、とくに初級から中級前半の技術者 ・研究機関で反応性プラズマプロセスに従事する研究者の方
予備知識 ・特に必要ございませんが、電気電子工学・プラズマ工学の学部レベルの知識に加えて、若干ではあるが物理化学や統計熱力学に秀でていればなお有り難い(講義中に補足します)
修得知識 ・プロセスプラズマの電子温度・密度を一番基本的なプローブ法、発光分光法により測定できるようになる ・プロセス用のプラズマ生成装置を、その仕組みや理論がわかって運転できるようになる ・異なるプラズマ装置で発生したプラズマを比較対照して定量的に議論ができるようになる ・応用物理学会のプラズマエレクトロニクス分野、電気学会のプラズマ分野や放電分野の研究発表が理解できるようになる
プログラム

1. はじめに

2. プラズマの基礎
  (1). プラズマの微視的理解
     a. 電場中の運動、磁場中の運動
     b. 直交磁場中の運動 E×Bドリフト、その他のドリフト運動
  (2). 荷電粒子と原子分子との衝突
     a. 衝突断面積、原子・分子の電離と励起
     b. 平均自由行程と衝突周波数
     c. 衝突前後の運動量変化とエネルギー変化
  (3). プラズマの巨視的理解
     a. ボルツマン方程式と流体モデルによる基礎方程式
     b. 電気的中性条件とプラズマ振動
     c. 密度分布と流れ、拡散
     d. シース/プラズマと固体との界面

3.プラズマ計測
  (1). プローブ計測
     a. シングルプローブ法、およびダブルプローブ法
     b. プロセスプラズマ特有の諸問題
  (2). 発光分光計測
     a. 発光分光法によるプラズマの電子温度・電子密度の診断
     b. アクチノメトリー法によるラジカル密度の診断
     c. 発光分光法による分子性プラズマの振動温度・回転温度の測定
  (3). その他の先進的計測の概説

4.プラズマの生成と制御
  (1). 放電気圧、周波数と放電形式、プラズマの発生と維持
  (2). 非平衡プラズマと平衡プラズマ
     a. 直流放電による低温プラズマと熱プラズマ
     b. 各種温度の圧力依存性
     c. 大気圧非平衡プラズマ
     d. 容量結合プラズマ
     e. 誘導結合プラズマ
     f. マイクロ波による表面波・体積波プラズマ

5.プラズマの産業応用
  (1). プラズマによる薄膜形成、CVD
  (2). 大気圧プラズマによる表面処理
  (3). 新たな応用〜液相プラズマによる有機物処理処分、生物・医療応用

6.まとめ

キーワード プラズマ E×Bドリフト ドリフト運動 荷電粒子 衝突断面積 電離 励起 平均自由行程 衝突周波数 プラズマ振動 プローブ計測 プローブ法 プロセスプラズマ 発光分光法 アクチノメトリー法 ラジカル密度 分子性プラズマ 放電気圧 放電形式 非平衡プラズマ 平衡プラズマ 低温プラズマ 熱プラズマ 大気圧非平衡プラズマ 容量結合プラズマ 誘導結合プラズマ マイクロ波 表面波 体積波プラズマ CVD 大気圧プラズマ 液相プラズマ
タグ プラズマ表面改質表面処理・めっき
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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