ドライプロセスによる表面改質技術とナノコンポジット膜への応用

〜真空工学の基礎と真空機器の動作原理、イオンプレーティング法、スパッタリング法、内部応力と欠陥の制御、密着性の向上、問題対策のための基礎知識 〜

機械的性質や耐酸化性に優れた硬質膜を開発し、応用するための講座

PVD技術や表面改質膜に関する体系的な知識を修得し、硬さや密着性などを改善させ、付加価値の高い製品開発へ応用しよう!

ナノコンポジット膜は、超高硬度で耐熱、耐酸化性に極めて優れた特徴をもっています

講師の言葉

 PVD(物理的蒸着法)による表面改質は、戦後の真空技術・真空機器の著しい発展もあり、近年では機械工具、金型、機械部品など金属機械産業で幅広く利用されています。
 それに伴い様々なPVD成膜装置や各種保護膜が開発されておりますが、これらの真空技術や成膜技術とそれにより得られる保護膜の材料科学的な知識とを結合した総合的な学習の機会は少ないのが実情です。表面改質膜を取り扱う現場では、保護膜に関する明確な指導原理を持たないと、何か問題が発生した場合に経験的な知識だけでは解決できない場合が多々あるようです。
 本講では、真空工学から真空機器、薄膜工学の原理を概説し、最後に表面改質膜の開発の歴史を俯瞰します。これにより、受講者が薄膜材料の選定や不良問題の解決、硬さや密着性など膜特性の改善を行おうとする場合に起こる様々な問題の解決に当たれるよう表面改質膜に関する「基礎知識の習得」と「指導原理の理解」を目指しております。

セミナー詳細

開催日時
  • 2015年05月27日(水) 10:30 ~ 17:30
開催場所 日本テクノセンター研修室
カテゴリー 加工・接着接合・材料
受講対象者 ・表面改質膜を扱う職場の技術者の方で、PVD技術や表面改質膜に関する体系的な知識を得たい方 ・工具や金型の保護膜を外注しているが、材質の選定、仕様の要点などがよくわからないと悩んでおられる方 ・工具・金型などの寿命を延ばしたいが、保護膜に関して何を変えればよいか悩んでおられる方 ・機械工具、金型、機械部品など金属機械産業の技術者の方
予備知識 ・材料の結晶構造など機械材料全般についての基礎的な知識があることを前堤に講義を行います ・大学理工系学部・高専等における基礎的な物理・化学の知識があれば理解できます
修得知識 ・表面改質膜に問題が発生した場合に対策を考えるための基礎知識が得られる ・表面改質膜の用途に適した材質を考えるための基礎知識が得られる ・真空機器の動作原理が理解でき、PVD装置のトラブルや製品の不良発生の原因をある程度推測できるようになる
プログラム

1.真空工学の基礎と真空機器の動作原理
  (1).ガス分子の運動
    a.ガス分子の速度と平均自由行程
    b.ガスの入射頻度と吸着
  (2).ガスの流れ
    a.分子流と粘性流
    b.コンダクタンス
  (3).真空機器
    a.各種真空ポンプの構造と動作原理
    b.各種真空計の構造と動作原理

2.各種PVDプロセス
  (1).イオンプレーティング法
  (2).スパッタリング法

3.薄膜の形成機構と膜構造および性質
  (1).薄膜の形成機構
    a.薄膜形成の初期成長モデル
    b.スパッタ膜の微細構造モデル
    c.エピタキシー成長と残留ガス
  (2).成膜条件と薄膜の構造・性質および密着性の向上
    a.結晶粒の微細化
    b.内部応力と欠陥の制御
    c.密着性の向上

4.薄膜の機械的性質と評価技術
  (1).膜厚および表面形状(凹凸)の評価
  (2).薄膜の硬度およびヤング率の測定(ナノインデンテーション法)
  (3).内部応力、薄膜の付着力の評価

5.表面改質膜の開発 −TiNからナノコンポジット膜へ―
  (1).第一世代:2元系窒化物膜、炭化物膜
    a.TiN膜
    b.CrN膜
    c.TiC膜
  (2).第二世代:3元系窒化物膜、アモルファスカーボン(DLC)膜
    a.TiAlN膜
    b.CrAlN膜
    c.アモルファスカーボン(DLC)膜
  (3).第三世代:ナノコンポジット膜
    a.ナノコンポジット膜とは
    b.MeN/Si3N4膜
    c.MeN/BN系膜
    d.MeN/a-C系膜

キーワード ドライブロセス PVD 表面改質膜 保護膜 真空 イオンプレーティング法 スパッタリング法 ナノインデンテーション法 ナノコンポジット膜
タグ ナノテクノロジー金属真空材料薄膜表面改質表面処理・めっき
受講料 一般 (1名):49,500円(税込)
同時複数申込の場合(1名):44,000円(税込)
会場
日本テクノセンター研修室
〒 163-0722 東京都新宿区西新宿2-7-1 小田急第一生命ビル(22階)
- JR「新宿駅」西口から徒歩10分
- 東京メトロ丸ノ内線「西新宿駅」から徒歩8分
- 都営大江戸線「都庁前駅」から徒歩5分
電話番号 : 03-5322-5888
FAX : 03-5322-5666
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