プラズマの基礎とプロセッシングへの応用・例

講師の言葉

　プラズマを発生する方法として、直流放電、交流放電、高周波放電が用いられており、これらの従来のプラズマ発生システムに加え、プロセッシングの要求に応えるために新しい熱プラズマ発生システムの研究が盛んである。
　プラズマを利用したプロセッシングとしてはナノ材料合成がある。特に熱プラズマを用いるナノ粒子の製造法は、一段のプロセスで、安価でかつ大量にナノ粒子を製造することができるという長所を有するが、産業界に広く使われるためには、プラズマ中におけるナノ粒子の生成機構の解明と、より制御されたプロセッシングの開発が必要である。
　また、プラズマは環境保全に関する先端基盤技術であり、従来の方法では処理できない難処理物質や廃棄物を分解することができる。プロセスの迅速なスタートアップやシャットダウンが可能であることが廃棄物処理に適している理由である。また、他の廃棄物処理方法に比べてガスの使用量が少ないので、排ガスシステムへの負担が小さいことから考えても熱プラズマには優位性がある。
　本セミナーでは、アーク放電や高周波放電等による熱プラズマ、およびグロー放電等の大気圧非平衡プラズマの発生方法の原理、それぞれのプラズマの特性、プラズマ物性、プラズマの計測方法などのプロセッシングにおいて必要な基礎知識を論じ、さらにナノ粒子を合成するためのプロセスや廃棄物処理プロセスの最新の研究動向およびプロセスの原理を紹介する。

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