加速度センサ・ジャイロセンサの基礎と活用のポイントおよび応用例

講師の言葉

第１部

　近年の社会では自動車から携帯機器まで様々なシステムが電子化され、高度な機能が実現されています。これらの電子システムの実現には外界の情報や機械的な状態量を検出するためのセンサが重要な役割を果たしてきました。このセンサの小型化・低価格化を可能にしたのが、半導体微細加工技術を利用したＭＥＭＳ（Micro ElectroMechanical Systems）センサであり、その代表的な存在が加速度センサで現在では大量に普及するようになりました。

　本講座では加速度センサについて理解してもらうために加速度センサの基本構造、動作原理、基礎的な設計手法とそれらの実現のためのマイクロマシーニング技術について解説するとともに最近の製品の紹介を行います。

第２部

　弊社では、高安定な圧電材料として知られる“水晶”をベースに、独自の微細加工技術を駆使し、業界トップレベルのクロック部品を製造しています。そのノウハウを、ジャイロセンサへ応用し、他社に無いユニークな特性により、高精度手振れ補正やカーナビゲーションなどにご採用頂いております。
　本講演では、ジャイロセンサの全般論から、弊社独自の特長までを、開発者が説明致します。

第３部

　Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) はシリコンやその他材料をマイクロマシニング技術で加工した3次元構造を基本としている。当初MEMSセンサの大量消費を牽引したのが90年代から始まった自動車市場における応用である。振動型ジャイロセンサは民生向け用途、特にゲーム機器やデジタルカメラ、携帯電話端末において市場に広く浸透した。　
　本講演では、STの静電容量型MEMSセンサの概要を整理したあと、今後の展望について紹介する。

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