ガラスの平滑／平坦化技術（共催セミナー）
■概要
基礎知識から最新技術までを幅広く解説！
■会 場
江東区産業会館 第2会議室 【東京・江東区】
■日 時
平成21年11月26日（木） 12：30~16：30
■定 員
20名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
■聴講料
１名につき49,980円（税込、資料付き）
※同一法人より複数名でのお申し込みの場合、1名につき10,500円割引いたします。
※大学生、教員のご参加は、1名に付き受講料10,500円です。
（ただし、企業に在籍されている研究員の方は除きます。）
■講座の内容
【講座趣旨】
様々な最先端デバイス材料として使われ続けられるガラス基板の研磨加工においては、さらなる高平滑化・高平坦化、そしてコスト低減につながる高能率化が強く望まれています。これらに応えていくためには新しい技術を導入することはもちろんのこと、研磨加工を含めた砥粒加工全般に関する基礎知識がバックグラウンドとして必要になります。そこで本講座ではそれら基礎知識から最新技術までを幅広く講義することを目的としております。また講義終了時の全体質疑応答後には、個別の質疑応答時間を設けております。
【プログラム】
１．研磨加工の概要
２．ガラス研磨加工の基礎知識
２?１．ラッピングとポリシング
２?２．おもな加工方式・加工機械
２?３．砥粒・工具（ラップ，研磨パッド）の種類と特徴
２?４．周辺技術
３．ガラスの固定砥粒研磨加工
３?１．超精密研削加工技術
３?２．固定砥粒研磨パッド技術
４．最新の研究開発動向
４?１．超微細凝集砥粒を用いた研磨フィルム
４?２．構造制御形固定砥粒研磨パッド
４?３．平坦化研磨に関する新技術
４?４．高能率研磨に関する新技術
【質疑応答・名刺交換】
＊ 主催：株式会社Ｒ＆Ｄ支援センター
